[实用新型]半导体设备用密封性能检验机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体设备用密封性能检验机构，此机构主要应用于波纹管密封性能检验的过程中，属于半导体薄膜设备的应用技术领域。

背景技术

半导体镀膜设备中常用波纹管来实现某些部件的升降功能，同时实现大气与真空环境的互换，所以必须保证波纹管的密封性能满足设备的要求。另外，在波纹管安装到设备之前，如果不进行密封性能的检测，增加了不确定因素可能会出现漏率不合格等现象，如此会增加设备检漏时间及零部件的更换装配时间。因而设计了此检验工装，减少了设备的检漏时间及更换零部件的时间，同时提高设备的可靠性能。

发明内容

本实用新型以解决上述问题为目的，设计了一种波纹管密封性能检验工装结构，有效的提高了检漏的可靠性，减少了检漏时间，同时排除了波纹管存在漏点的可能性。

为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：半导体设备用密封性能检验机构，包括：上法兰盖板。所述上法兰盖板通过设有六角螺母的双头螺柱与底部盲板固定连接；所述上法兰盖板及底部盲板两端的法兰密封槽与双头螺柱连接处分别装有密封圈；所述上法兰盖板与底部盲板同心，其上安装波纹管。

使用时，在波纹管的法兰孔位中分别穿入三个双头螺柱，用六角螺母固定使波纹管处于自然长度状态，将密封圈安装在波纹管两端的法兰密封槽中，然后压在底部盲板上，再将上述法兰盖板压在波纹管的上法兰上，最后在上法兰盖板的接口处连接检漏仪进行抽气检漏操作。

本实用新型的有益效果及特点在于：

1、结构合理，通过螺母与双头螺柱保证了波纹管的自然长度，避免了抽气时波纹管的负压收缩变形，对波纹管本身起到保护作用；

2、适用范围广泛，本设计不仅仅适用于焊接圆形法兰的波纹管，还适用于焊接椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管，具有通用性；

3、本机构结构小巧简单，拆卸方便，提高了波纹管的检漏效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的A-A剖面视图。

具体实施方式

实施例

参照图1和图2，半导体设备用密封性能检验机构，该机构包括：上法兰盖板1。

所述上法兰盖板1通过设有六角螺母4的双头螺柱2与底部盲板5固定连接；

所述上法兰盖板1及底部盲板5两端的法兰密封槽与双头螺柱2连接处分别装有密封圈6；

所述上法兰盖板与底部盲板5同心，其上安装波纹管3；

所述双头螺柱2至少设3个。

使用前先对所有零部件进行擦拭或清洗，以确保密封效果。

使用时，在波纹管3的法兰孔位中分别穿入三个双头螺柱2，用六角螺母4固定使波纹管3处于自然长度状态，避免了抽气时波纹管的负压收缩变形，对波纹管本身起到保护作用，再将密封圈6安装在波纹管3两端的法兰密封槽中，然后压在底部盲板5上，再将上法兰盖板1压在波纹管3的上法兰上，最后在上法兰盖板1的接口处连接检漏仪7进行抽气检漏操作，记录检漏仪检测的波纹管的真空度结果，最后判定波纹管的密封性能是否合格。本设计适用于焊接圆形、椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管，具有通用性。此工装结构有效的提高了检漏的可靠性，减少了检漏时间，同时排除了波纹管存在漏点的可能性，从更深层意义上来说提高了设备的总产能。