[实用新型]双介质板等离子体发生器有效
| 申请号: | 201520644307.5 | 申请日: | 2015-08-25 |
| 公开(公告)号: | CN205005333U | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
| 发明(设计)人: | 洪利;陈仲钱 | 申请(专利权)人: | 洪利;陈仲钱 |
| 主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46 |
| 代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 王桂名 |
| 地址: | 100000 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 介质 等离子体 发生器 | ||
1.双介质板等离子体发生器,其特征是:包括两块介质板(1),两块介质板(1)平行间隔设置,两块介质板(1)的外表面上均设置第一导电体(2),两块介质板(1)内表面之间设置第二导电体(3),第一导电体(2)与第二导电体(3)之间施加高频电压。
2.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:介质板(1)设置为陶瓷或者石英材质结构。
3.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:第一导电体(2)为网格状、栅格状、或者条状金属丝。
4.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:第一导电体(2)与第二导电体(3)均为金属板、导电胶或者导电涂层结构。
5.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:第一导电体(2)与第二导电体(3)均为不锈钢、钨或者铅合金材质结构。
6.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:介质板(1)的厚度为0.1至0.7mm。
7.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:高频电压为高频交流电压或者高频脉冲电压。
8.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:第一导电体(2)与第二导电体(3)的引出端均设置为插针端子(4)、引线、螺丝孔、条形导电条或者插孔。
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