[实用新型]双介质板等离子体发生器有效

专利信息
申请号: 201520644307.5 申请日: 2015-08-25
公开(公告)号: CN205005333U 公开(公告)日: 2016-01-27
发明(设计)人: 洪利;陈仲钱 申请(专利权)人: 洪利;陈仲钱
主分类号: H05H1/46 分类号: H05H1/46
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 王桂名
地址: 100000 北京市海淀区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 介质 等离子体 发生器
【权利要求书】:

1.双介质板等离子体发生器,其特征是:包括两块介质板(1),两块介质板(1)平行间隔设置,两块介质板(1)的外表面上均设置第一导电体(2),两块介质板(1)内表面之间设置第二导电体(3),第一导电体(2)与第二导电体(3)之间施加高频电压。

2.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:介质板(1)设置为陶瓷或者石英材质结构。

3.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:第一导电体(2)为网格状、栅格状、或者条状金属丝。

4.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:第一导电体(2)与第二导电体(3)均为金属板、导电胶或者导电涂层结构。

5.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:第一导电体(2)与第二导电体(3)均为不锈钢、钨或者铅合金材质结构。

6.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:介质板(1)的厚度为0.1至0.7mm。

7.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:高频电压为高频交流电压或者高频脉冲电压。

8.根据权利要求1所述的双介质板等离子体发生器,其特征是:第一导电体(2)与第二导电体(3)的引出端均设置为插针端子(4)、引线、螺丝孔、条形导电条或者插孔。

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