[实用新型]压阻式陶瓷压力传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种压力传感器，特别是涉及一种压阻式陶瓷压力传感器。

背景技术

陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷的热稳定特性及它的厚膜电阻可以使它的工作温度范围高达-40~135℃，而且具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度>2kV，输出信号强，长期稳定性好。高特性，低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向，在欧美国家有全面替代其它类型传感器的趋势，在中国也越来越多的用户使用陶瓷传感器替代扩散硅压力传感器。现有传感器的强度低，不方便连接电源和输出信号，检测的准确性低。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种压阻式陶瓷压力传感器，其增加强度，方便连接电源和输出信号，提高检测的准确性。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种压阻式陶瓷压力传感器，其特征在于，所述压阻式陶瓷压力传感器包括陶瓷座、弹性膜片、凹槽、电源正极、输出负极、电源负极、输出正极、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、焊盘，弹性膜片固定在陶瓷座的表面上，四个凹槽分别位于陶瓷座的四个侧面上，电源正极、输出负极、电源负极、输出正极、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、焊盘都位于弹性膜片上，第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻依次连接。

优选地，所述压阻式陶瓷压力传感器还包括传感器芯片和垫圈，传感器芯片位于陶瓷座内，垫圈位于传感器芯片的下方。

优选地，所述陶瓷座的形状和弹性膜片的形状都为方形或圆形。

优选地，所述陶瓷座的直径为18mm，高度为3.5mm至6.35mm。

优选地，所述弹性膜片上设有四个定位孔，定位孔位于凹槽的侧面。

本实用新型的积极进步效果在于：本实用新型改进了弹性膜片和陶瓷座的设计结构，增加强度，方便连接电源和输出信号，提高检测的准确性，结构简单，成本低。

附图说明

图1为本实用新型压阻式陶瓷压力传感器的俯视图。

图2为本实用新型压阻式陶瓷压力传感器的平面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型较佳实施例，以详细说明本实用新型的技术方案。

如图1所示，本实用新型压阻式陶瓷压力传感器包括陶瓷座1、弹性膜片2、凹槽3、电源正极4、输出负极5、电源负极6、输出正极7、第一电阻8、第二电阻9、第三电阻10、第四电阻11、焊盘12，弹性膜片2固定在陶瓷座1的表面上，四个凹槽3分别位于陶瓷座2的四个侧面上，电源正极4、输出负极5、电源负极6、输出正极7、第一电阻8、第二电阻9、第三电阻10、第四电阻11、焊盘12都位于弹性膜片2上，第一电阻8、第二电阻9、第三电阻10、第四电阻11依次连接。弹性膜片与陶瓷座之间固定，这样可以能够保证传感器机械结构的强度，保证其可靠性，可以测量频率范围很宽的脉动压力。电源正极、电源负极方便连接电源，输出负极、输出正极方便输出信号。第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻构成一个平衡电桥，提高检测的准确性。在被测压力作用下，弹性膜片产生应力和应变。凹槽方便与其它元件进行卡合。

陶瓷座的直径为18mm，高度为3.5mm至6.35mm，优选地为4.8mm，这样节约材料。弹性膜片2上设有四个定位孔13，定位孔13位于凹槽的侧面，这样方便进行定位。

如图2所示，本实用新型压阻式陶瓷压力传感器还包括传感器芯片14和垫圈15，传感器芯片14位于陶瓷座1内，垫圈15位于传感器芯片14的下方，这样设本实用新型计合理，体积小巧，易封装。

本实用新型压阻式陶瓷压力传感器的陶瓷座的形状和弹性膜片的形状均可设计成方形或圆形结构，这样可以满足不同场合的需要，降低了制造成本，便于规模化生产。

本实用新型压阻式陶瓷压力传感器的陶瓷座的材质是陶瓷，具有抗腐蚀、抗磨损性能，且抗冲击、抗震动，还有测量的高精度、高稳定性、宽的工作温度范围的优点。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。