[实用新型]一种气体流量控制系统有效
| 申请号： | 201520632607.1 | 申请日： | 2015-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN204816454U | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 乔冠东 | 申请（专利权）人： | 天津市鹏翔科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J4/02 | 分类号： | B01J4/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300384 天津市西青区新技*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气体 流量 控制系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种气体流量控制系统，包括进气阀(1)、过滤器(2)、三通A(3)、稳压阀(4)、三通B(5)、质量流量计(6)、三通C(7)、背压阀(8)、单向阀(9)、测压元件A(10)、测压元件B(11)及测压元件C(12)，其特征在于：所述的进气阀(1)的出口通过管线与过滤器(2)的入口相连，所述的过滤器(2)的出口通过管线与三通A(3)的1端相连，所述的三通A(3)的3端通过管线与测压元件A(10)相连，三通A(3)的2端通过管线与稳压阀(4)的入口相连，所述的稳压阀(4)的出口通过管线与三通B(5)的1端相连，所述的三通B(5)的3端通过管线与测压元件B(11)相连，三通B(5)的2端通过管线与质量流量计(6)的入口相连，所述的质量流量计(6)的出口通过管线与三通C(7)的1端相连，所述的三通C(7)的3端通过管线与测压元件C(12)相连，三通C(7)的2端通过管线与背压阀(8)的入口相连，所述的背压阀(8)的出口通过管线与单向阀(9)的入口相连，所述的单向阀(9)的出口通过管线与反应系统相连。
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