[实用新型]高压等离子体电源

权利要求书

1.一种高压等离子体电源，其特征在于，所述等离子体电源包括整流电路、全桥电路、交流互感器、高压变压器、辅助电源、变频电路、采样电路、功率调节电路以及电流反馈控制电路，所述整流电路通过全桥电路、交流传感器连接高压变压器，所述交流互感器通过采样电路连接电流反馈控制电路，所述电流反馈控制电路通过变频电路连接全桥电路，所述功率调节电路连接电流反馈控制电路，所述辅助电源为反激式开关电源，为整机电路提供+12V直流工作电压。

2.根据权利要求1所述的高压等离子体电源，其特征在于，全桥软开关电路包括全桥电路、全桥驱动电路、能量贮存和滤波电容、功率管保护电路、隔直电路，其中三极管Q19~Q22组成全桥电路，电容C70、C71为能量贮存和滤波电容，阻抗Z5~Z8、电容C50~C53组成功率管保护电路，电容C37~C40、电容C42~C45和电阻R54、R55组成隔直电路，电路输出接高压变压器。

3.根据权利要求1所述的高压等离子体电源，其特征在于，所述交流互感器中，CSP1为交流互感器初级,CPS1为次级。

4.根据权利要求2或3所述的高压等离子体电源，其特征在于，所述采样电路包括全波整流电路以及滤波、负载电路，其中二极管D26、D27、D28、D29组成全波整流电路，电容C41、电阻R53组成滤波、负载电路。

5.根据权利要求4所述的高压等离子体电源，其特征在于，所述功率调节电路包括可调电位器W1和阻容元件R35、R36、R38、C20、运放U4A。

6.根据权利要求5所述的高压等离子体电源，其特征在于，所述变频电路包括二极管D25、集成电路U6、电容C46、电阻R57、R58。

7.根据权利要求6所述的高压等离子体电源，其特征在于，所述电流反馈控制电路包括集成电路U4B及电阻R40，电阻R42、电容C22经电阻R39送到功率调节电路的反相输入端，形成反馈信号。