[实用新型]一种卷式电镀用收膜装置有效
| 申请号: | 201520625813.X | 申请日: | 2015-08-19 |
| 公开(公告)号: | CN204857667U | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
| 发明(设计)人: | 赵云鹏;操瑞林;刘俊领;金中华 | 申请(专利权)人: | 铜陵丰山三佳微电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
| 代理公司: | 铜陵市天成专利事务所 34105 | 代理人: | 莫祚平 |
| 地址: | 244000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电镀 用收膜 装置 | ||
1.一种卷式电镀用收膜装置,其特征在于包括底座、调速电机、导向辊和收卷辊,所述调速电机的输出轴穿过底座,所述导向辊与底座活动连接,所述收卷辊包括活动外框、中心支架、固定螺帽,活动外框至少分为两部分、活动外框位于中心支架外且活动外框与中心支架活动连接使得活动外框能够接近或远离中心支架从而使能够调整活动外框的直径,所述中心支架与调速电机的输出轴固定连接,所述固定螺帽可拆卸式固连于电机的输出轴上,底座和固定螺帽配合限制活动外框运动。
2.根据权利要求1所述的一种卷式电镀用收膜装置,其特征在于所述底座有2个、其中一个与调速电机的输出轴固定连接、另一个与导向辊连接,与调速电机的输出轴固定连接的底座与活动外框其中一侧接触、活动外框的另一侧与固定螺帽接触、使得底座和固定螺帽配合限制活动外框运动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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