[实用新型]一种石墨舟存储柜有效
| 申请号： | 201520615512.9 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN204905229U | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 姚华 | 申请（专利权）人： | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 韩洪 |
| 地址： | 314300 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 存储 | ||
1.一种石墨舟存储柜，其特征在于：包括柜体(1)、氮气系统(2)，所述柜体(1)形状为竖直长方体，柜体(1)底部有支撑脚(3)，柜体(1)正面为玻璃门(4)，玻璃门(4)与柜体(1)通过两个合页(5)相连，柜体(1)内有支撑架(6)，所述氮气系统(2)包括通气管(7)、空流阀(8)、第一三通(9)、第二三通(10)、第三三通(11)、第四三通(12)。
2.如权利要求1所述的一种石墨舟存储柜，其特征在于：所述支撑脚(3)数量为四，支撑脚(3)位于柜体(1)底部四角上，支撑脚(3)高度可调。
3.如权利要求1所述的一种石墨舟存储柜，其特征在于：所述支撑架(6)数量为四，支撑架(6)形状与柜体(1)横截面形状大小相同，所述支撑架(6)将柜体(1)从上到下依次分为等高的第一、第二、第三、第四、第五层，每层柜体(1)侧面均有一通气孔(13)，氮气系统(2)与通气孔(13)相连。
4.如权利要求1至3中任一项所述的一种石墨舟存储柜，其特征在于：所述空流阀(8)通过通气管(7)与第一三通相连(9)，所述第一三通(9)通过通气管(7)分别与第二三通(10)、第一层通气孔(13)相连，所述第二三通(10)通过通气管(7)分别与第三三通(11)、第四三通相连(12)，所述第三三通(11)通过通气管(7)分别与第二层、第三层的通气孔(13)相连，所述第四三通(12)通过通气管(7)分别与第四层、第五层的通气孔(13)相连。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江艾能聚光伏科技股份有限公司，未经浙江艾能聚光伏科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520615512.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
