[实用新型]真空镀膜装置有效
| 申请号: | 201520615032.2 | 申请日: | 2015-08-14 |
| 公开(公告)号: | CN204959023U | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
| 发明(设计)人: | 张磊;郭锐;张松 | 申请(专利权)人: | 深圳市三石精密光学有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人: | 郭官厚 |
| 地址: | 518103 广东省深圳市宝安区福永街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 真空镀膜 装置 | ||
1.一种真空镀膜装置,包括真空镀膜锅(1),其特征在于:还包括若干个真空镀膜夹具(2),所述真空镀膜夹具(2)包括开口向上的U型骨架(21),所述U型骨架(21)通过螺丝连接在真空镀膜锅(1)的上表面,所述U型骨架(21)的两个侧壁的内侧分别固定有一个固定片(22),两个固定片(22)与U型骨架(21)之间形成卡槽。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置,其特征在于:所述U型骨架(21)的制作材料为不锈钢。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置,其特征在于:所述固定片(22)的制作材料为不锈钢。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜装置,其特征在于:所述真空镀膜锅(1)上设有若干个过孔。
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