[实用新型]一种用于氦质谱检漏的加压-抽真空实验装置

说明书

技术领域

本实用新型属于工业检测设备的设计与制造技术领域，具体是涉及一种用于氦质谱检漏的加压-抽真空实验装置。

背景技术

由氦质谱检漏的原理可知，只有在密封部位的两侧形成一定的浓度差和压差才可实现对检漏部位的气密性检测，所以在检漏工艺中对检漏部位抽真空和充入示漏气体是所有检漏过程中所必不可少的环节。每次检漏时，需要将这两部分系统进行拆装、组配以及气密性检测等准备工作，不仅工作效率低，而且不能保证每次检漏工况的一致性，尤其是在做一些高精度实验时，常常因系统前后状态的不一致性而影响对实验结果的正确分析与处理。此外，充气压力、浓度与漏率有着密切的联系，被检部位内部的充气压力高低与充气浓度大小决定了整个检漏系统的检测能力，通过准确测量与控制被检部位内部的充气压力与浓度，可为准确评估检漏部位的密封性能提供数据支撑。由此可见，研制加压-抽真空实验装置，无论是从检漏工艺还是从检漏结果可靠性等方面考虑都有着重要的意义。

发明内容

本实用新型的目的：提供一种用于氦质谱检漏的实验装置，具备对检漏部位抽真空、充压、清洗等功能，能够准确测量控制系统的充气压力，同时还具有操作简便、密封性好、方便运输等优点。

本实用新型的目的是这样实现的：一种用于氦质谱检漏的加压-抽真空实验装置，包括阀门，真空计，压力变送器，检漏仪，氦气源及氮气源，通过阀门旋片泵与真空计相连接；转接口上设置着检漏工装，检漏工装与被检件相连接；压力变送器通过阀门分别于氦气源及氮气源并联在一起，同时压力变送器通过转接口与被检件相连；检漏仪通过阀门与被检件相连，通过阀门真空计与检漏仪及被检件并联在一起。

有益效果：本装置中将加压系统和抽真空系统集成一体，形成封闭系统，可减少“环境”干扰，对系统抽真空后可迅速转换为对系统加压模式，有利用于保证每次检漏系统的状态保持一致，有利于对系统的真空度及充气压力等关键参数的控制，有利于保证检漏结果的可靠性及对比性。同时，也减少了每次检漏时，对系统进行拆装、组配、密封性检测以及可靠性检测等准备工作，可提高检测的效率。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型的结构示意图图。

具体实施方式

实施例1、一种用于氦质谱检漏的加压-抽真空实验装置，如图1所示，包括阀门2，真空计3，压力变送器4，检漏仪8，氦气源9及氮气源10，通过阀门2旋片泵1与真空计3相连接；转接口5上设置着检漏工装6，检漏工装6与被检件7相连接；压力变送器4通过阀门2分别于氦气源9及氮气源10并联在一起，同时压力变送器4通过转接口5与被检件7相连；检漏仪8通过阀门2与被检件7相连，通过阀门2真空计3与检漏仪8及被检件7并联在一起。

实践操作中，检漏前装置中所有阀门处于关闭状态；将被检件的检漏工装安装在转接口处，打开阀门，真空计，对被检件抽真空；关闭阀门，打开检漏仪及阀门，完成对被检件的本底测量及系统最小可检漏率的标定；打开旋片泵、阀门以及真空计完成对检漏工装的抽真空；打开阀门以及传感器的电源，充入所需压力的氦源，根据需要可打开阀门，充入所需要的氮气；待检漏完毕后打开阀门，将气体排出。

本系统具有加压、抽真空、压力监测、清洗等功能。通过旋片真空泵（真空泵根据被检部位容积的大小进行选型）对检漏部位预置真空，达到检漏仪的工作压力后，开启检漏仪进行本底监测与系统最小可检漏率的标定。然后，将真空泵（检漏仪与真空泵间设有控制阀，可实现检漏仪与检漏工装之间气路的转换）转移至检漏工装处并对其进行抽真空。根据检漏指标设计要求，对检漏工装内充入一定压力的氦源，或充入氦气和氮气的混合气体，通过压力传感器控制充入检漏工装内的氦气量，此时被检件进行检漏状态，等检漏完成后，通过放气阀，释放充入检漏工装内部的示漏气体。在检漏的过程中，常常会出现泄漏的情况，这时需要复检，为避免管路中残留的氦源污染本底测量。因此，该装置还应具备清洗功能，用于每次检漏完成后，对整个装置中气路的清洗。同时，还可避免泵油被污染。该装置中各功能之间的转化依靠球阀控制，球阀在正压和真空状态下均具有较好的密封性能，且使用寿命长。系统中的连接部位使用焊接或管螺纹的密封方式，可保证整套装置的密封性能良好。

本实验装置可广泛的应用于喷吹法、氦罩法、充压真空法、累积法、背压法、预充氦法、吸枪法等多种检漏方法抽真空和充入氦源使用。通过更换实验装置中示漏气体的种类，该实验装置还可用于H₂、SF₆等示漏气体的检漏。