[实用新型]冷却剂再生装置和线锯系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种使用于对硅、蓝宝石、镓砷、磁铁等各种脆性材料进行加工的线锯装置的冷却剂再生装置以及具备该冷却剂再生装置的线锯系统。

背景技术

例如在制造半导体元件、太阳能电池元件等制品的过程中，进行将块状的硅锭(硅材料)切断为预先规定的尺寸的切片工序。在该切片工序中，当使用线锯装置切断硅锭时，为了抑制切断部分的温度上升以及赋予润滑性而使用冷却剂。在切片工序使用后的冷却剂(使用过的冷却剂)中含有硅等切削屑(淤渣)。

例如，在日本专利公开公报特开2010-253622号中公开了向线锯(固定磨粒线)供给冷却剂并切断硅材料的线锯的冷却剂管理方法以及装置。该日本专利公开公报特开2010-253622号中设有接收从线锯掉下的切断淤浆的淤浆接收槽。在该淤浆接收槽中接收的切断淤浆被导向离心分离机。被导向离心分离机的切断淤浆被分离为粗粒固体成分和分离液。在离心分离机被分离的分离液被供给到膜过滤装置，被分离为微粒混合液和回收冷却剂。在离心分离机被分离的分离液的一部分和在膜过滤装置分离的回收冷却剂在调配罐被调配而再次被供给到线锯。

作为线锯装置，例如有图8所示的类型。图8所示的线锯装置2具备线锯21、线锯罐22以及循环机构23。该循环机构23包含循环路径24和循环泵25。在线锯装置2中，当在线锯21加工硅锭时，向线锯21供给冷却剂。使用后的冷却剂在包含切削屑的状态下被回收到线锯罐22。被回收的冷却剂利用循环泵25而通过循环路径24再次被供给到线锯21。

在如图8所示的线锯装置2中，随着硅锭的加工的进行，线锯罐22内的冷却剂中的切削屑浓度(淤渣浓度)逐渐上升。如果该切削屑浓度达到规定浓度以上，有时会影响切断硅锭而制得的晶片的质量。因此，在使用线锯装置2进行加工后，将线锯罐22内的冷却剂的一部分或全部更换为新的冷却剂。据此，能够防止线锯罐22内的冷却剂中的切削屑浓度上升到规定浓度以上。然而，此种冷却剂的更换作业繁杂，成为使生产效率降低的原因。

此外，上述的日本专利公开公报特开2010-253622号的装置中，通过了离心分离机以及膜过滤装置的冷却剂在调配罐中被调配，并从该调配罐通过冷却剂供给管而直接供给至线锯，因此，不能把日本专利公开公报特开2010-253622号的装置直接适用于具备图8所示的结构的线锯装置2中。如果将日本专利公开公报特开2010-253622号的装置直接适用于具备图8所示的结构的线锯装置2中，则用于将线锯罐22内的冷却剂供给至线锯21的循环机构23无用处。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种冷却剂再生装置，使用于具备线锯、回收在线锯中使用的冷却剂的线锯罐以及将线锯罐内的冷却剂送回线锯的循环机构的线锯装置，在赋予冷却剂的再生功能时，能够有效地利用线锯装置的循环机构，而且，能够自动且稳定地将线锯罐内的冷却剂中包含的切削屑浓度维持得低。本实用新型的目的还在于提供一种包括所述冷却剂再生装置的线锯系统。

本实用新型的一个方面涉及冷却剂再生装置，其使用于线锯装置，该线锯装置具备：线锯；回收在所述线锯使用过的冷却剂的线锯罐；以及使所述线锯罐内的冷却剂返回到所述线锯的循环机构，所述冷却剂再生装置包括：导出路径，导出所述线锯罐内的冷却剂的一部分；导出量调节机构，调节向所述导出路径导出的冷却剂的导出量；处理装置，对通过所述导出路径而被导出的冷却剂进行再生；导入路径，将在所述处理装置被再生的冷却剂导入所述线锯罐；以及导入量调节机构，调节向所述线锯罐导入的冷却剂的导入量。

在该实用新型中，线锯装置的线锯中使用过的冷却剂在被回收到线锯罐后，与通过循环路径重新供给到线锯这一冷却剂的一连的路径独立地形成冷却剂再生用的一连的路径。在该再生用的路径中，线锯罐内的冷却剂被导出到导出路径，在处理装置中被再生的冷却剂通过导入路径被导入到线锯罐。因此，在具备线锯、线锯罐以及循环机构的线锯装置中，在赋予冷却剂的再生功能时，能够有效地利用线锯装置的循环机构。

而且，在本实用新型中，从线锯罐被导出到导出路径的冷却剂的导出量由导出量调节机构来调节。此外，处理装置中再生的冷却剂向线锯罐的导入量由导入量调节机构来调节。因此，在本实用新型中，能够自动且稳定地将线锯罐内的冷却剂中所含的切削屑的浓度维持得低。由此，在本实用新型中，无需如图8所示的线锯装置2那样在加工后将线锯罐内22内的冷却剂的一部分或全部更换为新的冷却剂的作业，因此，能够防止生产效率降低。