[实用新型]适用于大规模制备氧化锌纳米线阵列的部件及装置

权利要求书

1.一种适用于大规模制备氧化锌纳米线阵列的部件，至少包括一硅衬底和供盛放化学反应物的舟，其特征在于：所述硅衬底任一端面上制备有一粗糙表面，且所述硅衬底制备有粗糙表面的一面朝向供盛放化学反应物的舟进行放置。

2.根据权利要求1所述的适用于大规模制备氧化锌纳米线阵列的部件，其特征在于：所述粗糙表面由采用反应离子刻蚀的方法在硅衬底上制得。

3.一种适用于大规模制备氧化锌纳米线阵列的装置，其特征在于：包括一用于在采用高温化学气相沉淀方法条件下来制备氧化锌纳米线阵列的真空管式炉和权利要求1或2所述的部件，所述部件放置于所述真空管式炉内。

4.根据权利要求3所述的适用于大规模制备氧化锌纳米线阵列的装置，其特征在于，所述部件中的舟内盛放有氧化锌粉和碳材料的物理混合物。

5.根据权利要求4所述的适用于大规模制备氧化锌纳米线阵列的装置，其特征在于，所述碳材料为金刚石颗粒或者纳米金刚石颗粒。