[实用新型]工件清洗设备

权利要求书

1.一种工件清洗设备，包括处理腔室(14)、施加液体介质的装置(20)，其特征在于，还包括加热-热交换器(3501)，所述施加液体介质的装置(20)将经过第二加热装置(35)恒温处理的至少一种液体介质(18)输送至所述处理腔室(14)的内部区域(39)的处理区域(16)对工件(12)进行处理；还包括从处理腔室(14)内部区域抽吸气体介质的装置(37)、冷凝器(44)、制冷装置(52)，所述抽吸气体介质的装置(37)将处理腔室(14)中吸出的气体介质(1801)输送至冷凝器(44)，并将从液体介质(18)中吸收的蒸汽、雾状、气体成分中的任一种或任多种冷凝为冷凝液(19)；所述制冷装置(52)与冷凝器(44)的二次侧相连，以便提供冷凝所需的低温，且所述制冷装置(52)和第二加热装置的一次侧(53)相连；冷凝器(44)与液体介质(18)的储存容器(24)相连，以便将冷凝器(44)中形成的冷凝液(19)送回储存容器(24)，且所述储存容器(24)和施加液体介质(18)的装置(20)相连，以将液体介质(18)输送至施加液体介质的装置(20)，进而施加至安排在处理腔室(14)的处理区域(16)中的工件(12)上。

2.根据权利要求1所述的工件清洗设备，其特征在于，所述制冷装置(52)具有制冷剂回路(54)，制冷剂(55)在所述制冷剂回路(54)中进行循环。

3.根据权利要求2所述的工件清洗设备，其特征在于，所述第二加热装置(35)包含一个加热-热交换器(3501)，制冷剂(55)流经所述第二加热装置的一次侧(53)，且所述第二加热装置的一次侧(53)连接了制冷装置(52)的加热端；液体介质(18)流经所述第二加热装置的二次侧(3502)，并通过施加液体介质的装置(20)向安排在处理腔室(14)处理区域(16)中的工件(12)施加液体介质，即加热-热交换器(3501)由与第二加热装置的一次侧(53)相连的加热端向液体介质(18)流经第二加热装置的二次侧(3502)传递热量。

4.根据权利要求3所述的工件清洗设备，其特征在于，制冷装置(52)具有一个安排在制冷剂回路(54)中能够压缩制冷剂(55)的压缩机(56)、压缩机的低压接口(68)以及压缩机的高压接口(64)；所述压缩机(56)在压缩机的低压接口(68)获得在制冷剂回路(54)中循环的制冷剂(55)，并将压缩后的制冷剂(55)通过压缩机的高压接口(64)输送至与第二加热装置的一次侧(53)相连的加热端。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的工件清洗设备，其特征在于，冷凝器(44)包含一个冷凝-热交换器(4401)，所述冷凝-热交换器(4401)具有一个从处理腔室(14)内部吸出的气体介质(1801)流经的冷凝-热交换器的一次侧(4402)和一个制冷剂(55)流经的冷凝-热交换器的二次侧(50)，该冷凝-热交换器的二次侧(50)连接制冷装置(52)的制冷端，冷凝-热交换器(4401)将热量从冷凝-热交换器的一次侧(4402)传递至冷凝-热交换器的二次侧(50)，即制冷装置(52)的制冷端，所述冷凝-热交换器的二次侧(50)也称为冷凝器(44)的二次侧。

6.根据权利要求5所述的工件清洗设备，其特征在于，制冷装置(52)包含一个具有高压接口和低压接口的膨胀阀(60)，该膨胀阀(60)通过在膨胀阀的高压接口(62)处获得在制冷剂回路(54)中循环的制冷剂(55)，然后通过膨胀阀的低压接口(66)将制冷剂(55)输送至冷凝-热交换器的二次侧(50)，即制冷装置(52)的制冷端。

7.根据权利要求2至4或者6中任一项所述的工件清洗设备，其特征在于，还包括热交换器(70)，所述热交换器(70)具有一个冷凝器(44)中冷却后气体介质(1801)流经热交换器的二次侧(74)和一个制冷剂回路(54)中制冷剂(55)流经热交换器的一次侧(72)，即热量从热交换器的一次侧(72)向热交换器的二次侧(74)传递。

8.根据权利要求7所述的工件清洗设备，其特征在于，热交换器(70)通过将热交换器的一次侧(72)的热量传递至热交换器的二次侧(74)对冷凝器(44)中冷却的气体介质(1801)进行加热，并将从加热-热交换器(3501)获得的在制冷剂回路(54)中循环的制冷剂(55)输送至膨胀阀的高压接口(62)处。