[实用新型]化学机械抛光装置用承载头及其隔膜

权利要求书

1.一种化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，包括：

底板，对晶片的板面进行施压；

侧面，从上述底板的边缘向上侧折弯而成；以及

固定片，包括多个垂直延伸部和水平延伸部，上述多个垂直延伸部在上述侧面和上述底板的中心之间以环形向上延伸而成，上述水平延伸部从上述多个垂直延伸部的上端部分别向第一方向水平延伸，上述水平延伸部与上述承载头的本体部相结合，从而在上述底板和上述本体部之间形成多个压力腔室。

2.根据权利要求1所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，上述第一方向为径向向内和径向向外中的任意一个方向。

3.根据权利要求1所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

上述固定片中的至少一部分包括：

第一垂直延伸部，从上述底板向上侧延伸；

第一水平延伸部，从上述第一垂直延伸部的上端部向上述第一方向延伸；

第二垂直延伸部，从上述第一水平延伸部的末端向上述第一方向延伸；以及

第二水平延伸部，从上述第二垂直延伸部的上端部向上述第一方向延伸。

4.根据权利要求1所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

上述固定片在上述垂直延伸部和上述水平延伸部之间形成有中间延伸部。

5.根据权利要求4所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

对于所有固定片，上述中间延伸部的倾斜角、长度及位置均相同。

6.根据权利要求1所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

在上述水平延伸部形成有弯折部。

7.根据权利要求6所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

上述固定片的从上述垂直延伸部到形成有上述弯折部的区间的形状均相同。

8.一种化学机械抛光装置用承载头，其特征在于，包括：

本体部，从外部接收旋转驱动力来进行旋转；以及

权利要求1至7中任一项所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，定位于上述本体部，并与上述本体部一同旋转，在上述本体部和上述隔膜之间形成有压力腔室，化学机械抛光工序中，通过上述压力腔室的压力控制，对位于底面的晶片向下方进行施压。