[实用新型]一种低温杜瓦腔室有效
申请号: | 201520581346.5 | 申请日: | 2015-08-05 |
公开(公告)号: | CN204943012U | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 郭方准 | 申请(专利权)人: | 大连齐维科技发展有限公司 |
主分类号: | F17C1/00 | 分类号: | F17C1/00;F17C13/04;F17C13/00 |
代理公司: | 大连博晟专利代理事务所(特殊普通合伙) 21236 | 代理人: | 于忠晶 |
地址: | 116000 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低温 杜瓦腔室 | ||
1.一种低温杜瓦腔室,其特征在于:真空机构包括腔室外筒(24)的上端连接上法兰(1),腔室外筒(24)的下端连接腔室端盖(27),腔室端盖(27)的下部连接探入外筒(31),探入外筒(31)的下端连接真空密封顶(38),探入实验管(34)通过导向环(17)插装于真空机构内,探入实验管(34)的外部通过探入液氦筒(33)套装有液氦机构,液氦机构的外部通过探入真空屏蔽筒(32)套装有液氮机构,液氮机构的外部通过探入真空屏蔽筒(32)套装于真空机构内。
2.根据权利要求1所述的一种低温杜瓦腔室,其特征在于:所述真空机构包括腔室外筒(24)的上端连接腔室上密封法兰(14),腔室上密封法兰(14)的上部连接上法兰(1),上法兰(1)上分别连接安全阀(7)、角阀(6)、密封法兰(13),腔室外筒(24)的下端连接腔室下密封法兰(26),腔室下密封法兰(26)的下部连接腔室端盖(27),真空密封顶(38)的下端连接聚四氟乙烯锥顶(39)。
3.根据权利要求1所述的一种低温杜瓦腔室,其特征在于:所述液氮机构包括套装于腔室外筒(24)内的液氮屏蔽外筒(22),液氮屏蔽外筒(22)内套装有液氮屏蔽内筒(21),液氮屏蔽内筒(21)的上、下两端分别通过液氮屏蔽上盖(15)、液氮屏蔽下盖(23)与液氮屏蔽外筒(22)相连,液氮屏蔽下盖(23)下部连接屏蔽下盖(25),液氮屏蔽上盖(15)上分别连接液氮进入接头(12)、液氮放出接口(4),屏蔽下盖(25)的下部与腔室下密封法兰(26)相连,屏蔽下盖(25)上连接探入真空屏蔽筒(32),探入真空屏蔽筒(32)套装于探入外筒(31)内,探入真空屏蔽筒(32)的下端连接探入真空定位端盖(37),探入真空定位端盖(37)与真空密封顶(38)相连。
4.根据权利要求1所述的一种低温杜瓦腔室,其特征在于:所述液氦机构包括套装于液氮屏蔽内筒(21)内的液氦筒(20),液氦筒(20)的上端连接液氦筒端盖(19),液氦筒端盖(19)上分别连接有液氦进入接头(3)、液氦放出接头(8)、安全阀(11)、液氦细管(18),液氦细管(18)的上端连接上法兰(1),液氦筒(20)的下端连接液氦筒下盖(28),液氦筒下盖(28)通过液氦导向环(29)与探入液氦筒(33)相连,探入液氦筒(33)的下端连接探入液氦屏蔽端盖(36),探入液氦屏蔽端盖(36)与探入真空定位端盖(37)相连,探入液氦筒(33)内套装探入实验管(34),液氮屏蔽上盖(15)与液氦筒端盖(19)之间设有至少3片屏蔽片(16)。
5.根据权利要求1至4任一所述的一种低温杜瓦腔室,其特征在于:所述上法兰(1)分别连接液氦进入接头(3)、液氮放出接口(4)、吊耳(5)、角阀(6)、安全阀(7)、液氦放出接头(8)、液氮备用接口(9)、安全阀(11)、液氮进入接头(12)。
6.根据权利要求5所述的一种低温杜瓦腔室,其特征在于:所述安全阀(11)上连接有球阀(10)。
7.根据权利要求1至4任一所述的一种低温杜瓦腔室,其特征在于:所述探入实验管(34)由上至下依次穿过密封法兰(13)、上法兰(1)、液氮屏蔽上盖(15)、液氦细管(18)、液氦筒端盖(19)、液氦筒下盖(28)、屏蔽下盖(25)、腔室端盖(27)。
8.根据权利要求7所述的一种低温杜瓦腔室,其特征在于:所述探入实验管(34)的上、下两端分别连接有样品放入接口(2)、探入实验端盖(35),探入实验管(34)与上法兰(1)、液氮屏蔽上盖(15)、屏蔽片(16)之间分别设置有导向环(17),探入实验管(34)与屏蔽下盖(25)、腔室端盖(27)之间分别设置有同轴导向环(30)。
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