[实用新型]一种冷凝泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种泵体技术领域，特别是涉及一种冷凝泵。

背景技术

冷凝泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。冷凝泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势，被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域，如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。

冷凝泵支承部分主要件有托架、前后铀承压盖和铀组合定位在托架上的前后径向滚珠铀承上，滚球铀承亦承受未被平衡的铀向力。用稀油润滑，油量可从油标看出。前后铀承压盖均装有毛毡密封圈做为铀封以防漏油。管堵处的孔用来灌油。清洗换油时从丝孔将油放出。泵采用软填料密封，在铀封处装有可更换的铀套。泵通过弹性联铀器由电动机驱动，从传动方向看，泵为逆时针方向旋转。单级：主要件有硅黄铜80-3铸成的叶轮通过键固定由45号优质碳素制成的轴上，叶轮装在由耐磨铸铁HT20-40铸成的泵体、泵盖所构成的泵工作室内，动力机通过联轴器带动支在轴承中的轴和叶轮，泵就工作，耐磨铸铁HT20-40制成的轴套，与衬套（6N6和4N6X2）之间有着水润滑的滑动轴承的作用，泵体后的填料函内装有填料环，及填料油浸石墨石棉绳，开口填料压盖，借助加长双头螺栓压紧填料，并可调整松紧,外部引入高于大气压的密封水，通过接管对准填料环，并在整个填料函内就形成隔绝空气侵入泵内的密封腔，同时阻止泵内水向外流，仅有少量的润滑水滴出。在叶轮上开有平衡孔，使高压区与进口低压区沟通从而消除轴向推力，为了防止磨损泵体和泵盖，于修理,达到良好密封，在泵体、泵盖上装有密封环，泵体上部备有丝孔做为放气用，停车检修时，泵中之水从丝孔放出，为了方便泵体和泵盖的拆卸备有起盖螺钉（盖、体通用）进出口均备有测压孔。两级：其余与单级相同，仅泵盖、泵体和中间导叶构成两个工作室，在两室内相应装有硅黄铜80-3铸成的第一级叶轮和铸铁HT20-40CuMo制成的叶轮。

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚(10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附，一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时，水的蒸气压已低于10-8帕。温度为20K时，除氦、氖和氢外，其他气体的蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同，泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，低温板为20K时，泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。目前现有的冷凝泵结构复杂，安装不方便，运行稳定性能不高。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种冷凝效果好，安装方便，结构紧凑，使用寿命长，密封性能好的冷凝泵。

为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种冷凝泵，包括外筒体、泵体、主轴和电机支座，所述泵体和主轴设在外筒体内，所述泵体外侧设置有拉杆螺栓，所述泵体通过拉杆螺栓与外筒体固定连接，所述主轴上依次设置有首级叶轮、次级叶轮、轴承和联轴器，所述首级叶轮下方设置有吸入口，所述次级叶轮外侧设置有导叶和中段，所述轴承外侧设置有压水接管，所述压水接管与中段密封连接，所述压水接管顶端设置有轴封，所述压水接管两侧分别设置减压管和排出弯管，所述电机支座设在外筒体上，所述电机支座与外筒体固定连接，所述电机支座上设置有电机和推力轴承，所述电机通过推力轴承与主轴传动连接。