[实用新型]一种U型槽

说明书

技术领域

本实用新型属于太阳能电池的局部构件领域，涉及一种支撑特气管道的装置，具体为一种U型槽。

背景技术

目前，太阳能电池是人类利用太阳能的有效方法之一。制备晶体硅太阳能电池的一般流程为：表面清洗及织构化、扩散、等离子体去边、清洗去磷硅玻璃、镀膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试。其中镀膜一般都用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方法沉积氮化硅膜作为减反射层。这层减反射层不仅可以减少硅片表面光的反射，即增加电池片的光吸收，而且可以很好的起到表面体钝化的作用。因此，其镀膜工艺和膜层质量越来越受到人们关注。

在PECVD设备镀膜过程中，气体会通过一定数量的孔均匀的分散，使得镀膜均匀性非常好，没有色差。因此，这些孔的质量对镀膜工艺非常关键，如德国Roth&Rau公司PECVD设备上的特气管道，多个特气孔的大小一致性将直接影响镀膜工艺。

目前，最常用特气管道包括主枝，该主枝为近似方形的空心管道，有四个面，在其一个面上设有多个特气孔。分枝管道的两端直接焊接在方形的主枝上，并与其相通。分枝管道的一端焊接在分枝管道上，在其另一端有一个螺母，该螺母是与腔体里管道口相连的，是链接外界特气的。这种特气管道安装在腔体里，需要经常通特气孔，保证特气孔畅通并且大小一致，这样镀膜质量才能保证。但实际中，这种特气管道上的特气孔非常难通，因为会沉积大量的氮化硅，而氮化硅非常硬，较难除去，因此每次清理都会花费很长的时间，直接影响到生产的产能，同时平时维护时有些孔堵塞严重后不及时更换特气管道，镀膜均匀性非常差，造成电池片色差和电性能下降。

因此，有必要提出一种新的特气管道，以解决上述问题。有专利如中国专利CN202576561U“一种特气管道”提出一种特气管道，包括：主枝，该主枝为中空的管道；多个大小一致的螺母口，以同一朝向均匀的分布于所述主枝上；对应所述多个螺母口的多个带孔螺母，该带孔螺母的内部中空，其顶部设有特气孔，底部设有与所述螺母口相配合的螺纹，该多个带孔螺母通过该多个螺母口固定于所述主枝上并与主枝保持气流畅通；第一分枝，该第一分枝为中空管道，其两端焊接在主枝上并与主枝保持气流畅通；第二分枝，该第二分枝为中空管道，其一端焊接在第一分枝上并与第一分枝保持气流畅通，另一端连接一外部供气装置上该特气管道无需定期拆卸清洗，就可以保证每个特气孔保持通畅，大大提高了PECVD镀膜设备的工作效率，同时减少了因特气孔被堵塞或者不均带来的镀膜品质问题。但因特气管道在安装使用过程需要支撑装置也需要所采取的支撑装置带有透气孔使得通过特气管道流出的氮化硅气体能够冷凝流出。现已有此类U型槽能满足要求，如下图2所示的U型槽。在实际使用过程中，存在的问题是U型槽的使用寿命不长，需要定期更换，每次更换一是费时费力，二是每次更换后镀膜的效果不同，产品的质量得不到保证。而造成这种现象的主要原因在于，U型槽对氮化硅有吸附作用，使得氮化硅不能及时排除，然后堵塞特气管道中气体的流出，进而化学气相沉积的氮化硅膜的均匀性，使得制备的太阳能电池产品也为次品。因此而现有技术并没有解决此问题的很好的方案。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型对现有的U型槽进行改进，通过改进现有的U型槽的结构，提高U型槽的使用寿命，同时实现提高镀膜质量和镀膜效率的目的。

为了解决上述技术问题，本实用新型提出一种U型槽，所述U型槽包括U型槽主体和分别设置在U型槽主体两侧壁外侧的两根U型槽外沿边，U型槽主体槽底的中间位置和设置在U型槽主体两侧壁外侧的两根U型槽外沿边在沿边长度延伸方向的中间部位均设有透气孔，所述U型槽主体为内外两层的复合结构，U型槽主体的外层为U型结构金属板，U型槽主体的内层包括空心结构的U型板和位于空心结构U型板中的冷却装置。

作为本实用新型的优选技术方案，所述冷却装置为冷凝管、冷凝盘管或冷凝器。

作为本实用新型的优选技术方案，所述冷却装置为冷凝管时，冷凝管至少有三根，所述冷凝管在U型槽主体的延伸方向并排设置，并贯穿空心结构的U型板。

作为本实用新型的优选技术方案，所述U型槽主体的内层和U型槽主体的外层之间采用连接装置连接。

作为本实用新型的优选技术方案，所述连接装置为连接支架或者三个以上间隔设置的连接柱。

作为本实用新型的优选技术方案，所述空心结构U型板的材质为钛基耐热合金、镍基耐热合金、钼基耐热合金、铌基耐热合金、钨基耐热合金或高温陶瓷。

作为本实用新型的优选技术方案，所述空心结构U型板的材质优选为高温陶瓷。