[实用新型]一种用于CCD远场法光束质量β因子测量的校准系统

权利要求书

1.一种用于CCD远场法光束质量β因子测量的校准系统，其特征在于包括前期校准系统和后期校准系统，

所述前期校准系统中平行光源的光经过可变像质装置进入激光干涉仪；

所述后期校准系统中平行光源的光经过可变像质装置进入被校准光束质量β因子测量系统；

所述的可变像质装置包括组合透射像差板、圆环遮拦和固定支座；所述组合透射像差板与圆环遮拦设置在固定支座上，圆环遮拦设置在组合透射像差板与平行光源之间；

所述的组合透射像差板包括若干块透射像差板，组合透射像差板波前畸变对应的光束质量在被校光束质量β因子测量系统校准范围内。

2.根据权利要求1所述的一种用于CCD远场法光束质量β因子测量的校准系统，其特征在于所述的透射像差板包括像差镜、镜框；其中像差镜设置在镜框中。

3.根据权利要求2所述的一种用于CCD远场法光束质量β因子测量的校准系统，其特征在于像差镜的有效口径不小于被校光束质量β因子测量系统使用口径，0°角透射使用；镜框的有效口径与像差镜相同，并具有角度旋转调节机构。

4.根据权利要求1所述的一种用于CCD远场法光束质量β因子测量的校准系统，其特征在于所述的圆环遮拦的外环与内环同心，根据被校光束质量β因子测量系统中心遮拦尺寸的改变对圆环遮拦的外环与内环进行尺寸改变。

5.根据权利要求1所述的一种用于CCD远场法光束质量β因子测量的校准系统，其特征在于所述固定支座具有俯仰角、方位角精密调节功能。

6.根据权利要求1所述的一种用于CCD远场法光束质量β因子测量的校准系统，其特征在于所述的平行光源工作波长与被校光束质量β因子测量系统工作波长相同，输出光束口径不小于被校光束质量β因子测量系统使用口径，输出光束波前畸变PV值小于λ/5。