[实用新型]玻璃基板的制造装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种玻璃基板的制造装置。

背景技术

通常来说，玻璃基板的制造方法如专利文献1所记载般具有：熔融步骤，其将玻璃原料进行加热而产生熔融玻璃；及成形步骤，其由熔融玻璃成形玻璃基板。玻璃基板的制造方法进而在熔融步骤与成形步骤之间包含将熔融玻璃所含的微小泡去除的澄清步骤。在澄清步骤中，使调配有As₂O₃等澄清剂的熔融玻璃通过高温的澄清管，由此通过澄清剂的氧化还原反应而将熔融玻璃中的泡去除。具体来说，首先提高熔融玻璃的温度以使澄清剂发挥作用，由此使熔融玻璃所含的泡浮出至澄清管内的熔融玻璃的液面而将泡去除。接着，降低熔融玻璃的温度，使熔融玻璃吸收残留在熔融玻璃中的微小泡而将泡去除。熔融玻璃所通过的澄清管在上侧的内壁面与熔融玻璃的液面之间具有气相空间。气相空间经由与澄清管连接的通气管而与作为澄清管的外部空间的外部大气连通。

为了由高温的熔融玻璃量产高品质的玻璃基板，较理想为成为玻璃基板的缺陷的主要原因的异物不会混入熔融玻璃中。因此，与熔融玻璃接触的构件的内壁必须视与该构件接触的熔融玻璃的温度、及所要求的玻璃基板的品质等而由适当的材料构成。与熔融玻璃接触的构件的内壁通常使用铂族金属作为适当的材料。以下，“铂族金属”意指包含单一的铂族元素的金属、及包含铂族元素的金属的合金。铂族元素为铂(Pt)、钯(Pd)、铑(Rh)、钌(Ru)、锇(Os)及铱(Ir)6种元素。铂族金属虽然昂贵，但熔点较高，对熔融玻璃的耐蚀性优异。

通过澄清管的内部的熔融玻璃的温度根据所成形的玻璃基板的组成而不同，在为平板显示器(FPD)用玻璃基板的情况下，通过澄清管的内部的熔融玻璃的温度为1000℃～1700℃。近年来，就减少环境负荷的观点而言，代替As₂O₃而使用SnO₂作为澄清剂。SnO₂的澄清效果小于As₂O₃，为了获得与As₂O₃同等的澄清效果，而必须提高熔融玻璃的温度。具体来说，在使用SnO₂作为澄清剂的情况下，将通过澄清管的内部的熔融玻璃的温度设定为1500℃～1700℃。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特表2006-522001号公报

实用新型内容

[实用新型要解决的问题]

在使用SnO₂作为澄清剂的玻璃基板的制造方法中，澄清管的内壁是与高温的熔融玻璃接触。此时，澄清剂由于升温而发生还原反应从而释出氧气。另一方面，熔融玻璃中所含的包含气体成分的泡吸收由于澄清剂的还原反应而产生的氧气。吸收氧气而增大的泡浮出至熔融玻璃的液面，发生破裂而消失。另外，由于长期持续使用澄清管，所以铂族金属由于与氧进行反应而自澄清管的内壁慢慢地挥发。该挥发物与熔融玻璃中的泡一起经由澄清管的气相空间及通气管而向外部大气排出。然而，铂族金属的挥发物在向外部大气排出的过程中温度降低而成为过饱和状态。因此，存在容易在澄清管及通气管的内壁析出凝固的挥发物的问题。以下，将在澄清管及通气管的内壁析出的物质称为“铂异物”。通过在通气管中对产生该挥发物的氧的浓度(氧浓度)进行测量，而能够预测熔融玻璃中吸收氧气而成长的泡的量，从而预测铂异物的析出。然而，通气管的内部是与外部大气连通，因此温度容易降低，而导致铂异物尤其容易在通气管的内壁析出。如果铂异物随着时间的流逝而成长，则有铂异物由于自身重量而自澄清管及通气管的内壁剥离，而掉落澄清管内的熔融玻璃中的可能性。另外，将在通气管的内壁析出的铂异物去除时，有铂异物掉落澄清管内的熔融玻璃中的可能性。尤其有铂异物在用以吸取氧气并对氧浓度进行测量的测量管析出而掉落的担忧。并且，如果铂异物混入熔融玻璃中，则变得难以量产高品质的玻璃基板。

因此，本实用新型的目的在于提供一种在熔融玻璃的澄清步骤中能够抑制异物混入熔融玻璃中的玻璃基板的制造装置。

[解决问题的技术手段]

本发明是一种玻璃基板的制造装置，其特征在于包括：

熔融槽，其将玻璃原料进行加热而产生熔融玻璃；

澄清管，其将所述熔融槽中所产生的所述熔融玻璃进行澄清；及

成形装置，其由所述澄清管中所澄清的所述熔融玻璃成形玻璃基板，并且

所述澄清管是所述熔融玻璃以形成有气相空间即位于所述熔融玻璃的表面上方的空间的方式在其内部流动的铂制或铂合金制的管，