[实用新型]MEMS麦克风的振膜结构及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201520566929.0 | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN204836578U | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛 | 申请（专利权）人： | 北京卓锐微技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 100191 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 膜结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风的振膜结构，其特征在于，包括：振膜主体、锚区以及多个连接所述振膜主体和锚区的折叠梁，
其中，所述折叠梁包括多个连续延伸的段，以及向着相邻段横向延伸的多个第一突起，用于限制该段以及相邻段的相对范围。
2.根据权利要求1所述的振膜结构，其特征在于，所述第一突起的长度大于相邻段之间的间隙的一半。
3.根据权利要求2所述的振膜结构，其特征在于，相邻段之间的间隙为2微米至20微米，第一突起和相邻的段之间的间隙为0.5微米至2微米。
4.根据权利要求1所述的振膜结构，其特征在于，至少一个所述段包括沿振膜的振动方向的第二突起。
5.根据权利要求4所述的振膜结构，其特征在于，至少一个所述第二突起设置于所述第一突起上。
6.根据权利要求1所述的振膜结构，其特征在于，所述振膜结构还包括设置于背板上的第三突起。
7.根据权利要求6所述的振膜结构，其特征在于，所述第三突起和第二突起在振膜平面的投影位置靠近。
8.根据权利要求1所述的振膜结构，其特征在于，相邻第一突起之间的过渡曲线在数学上连续并且曲率变化均匀。
9.根据权利要求1所述的振膜结构，其特征在于，所述振膜结构还包括设置在锚区上的第四突起，用于限制所述折叠梁的运动范围。
10.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括如权利要求1至9任一项所述的振膜结构。
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