[实用新型]一种薄膜光纤传感器

权利要求书

1.一种薄膜光纤传感器，包括固定支架、光纤器件、弹性体、方位球，其特征在于：固定支架带有圆形凹孔和台阶，弹性体固定在支架的台阶上，方位球固定在支架的圆形凹孔上、并可进行旋转调节；光纤器件固定在方位球上，通过旋转调节方位球，可以改变光纤器件相对于弹性体的角度。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜光纤传感器，其特征在于：所述的光纤器件用于发射探测光束和接收从弹性体反射回的探测光束。

3.根据权利要求1或2任一所述的一种薄膜光纤传感器，其特征在于：所述的弹性体包括弹性悬膜和弹性悬臂梁，所述弹性悬膜和所述弹性悬臂梁在外界的压强、应力、应变或振动的作用下会发生弹性形变。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜光纤传感器，其特征在于：所述的方位球由球体与平面所组成，其中的部分球体与凹孔贴合，其中的平面部分是多边形。

5.根据权利要求1或4任一所述的一种薄膜光纤传感器，其特征在于：所述的方位球采用两个或两个以上的螺丝固定在圆形凹孔上，通过调节不同螺丝的松紧可以转动方位球。

6.根据权利要求1或2任一所述的一种薄膜光纤传感器，其特征在于：所述的光纤器件选自普通光纤、带有透镜的光纤、带有准直器的光纤、拉锥光纤或光子晶体光纤。

7.根据权利要求1或2任一所述的一种薄膜光纤传感器，其特征在于：所述的弹性体的材质选自金属应变片、镀膜的无机玻璃、镀膜的半导体薄膜或者镀膜的有机薄膜。