[实用新型]用于真空镀膜电子枪高压电源系统自动灭弧系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜电源技术领域，尤其涉及到一种用于真空镀膜电子枪高压电源系统自动灭弧系统。

背景技术

现有的真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统结构如图1所示，现有的真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统结构是：将工频交流电通过调功器构成的自动灭弧装置调整后经工频变压器升压变成交流高压电，然后再整流滤波得到直流高压电，具体的为：工频交流电依次通过中间继电器1’、三相调功器2’和三相变压器3’进行灭弧变压，变压后的工频交流电再通过设有的三相整流器4’进行整流，形成直流高压电，直流高压电再通过设有的电抗器5’进入到储能电容器6’中进行储能，进而输出。在上述结构形式中由于电源频率低，电源的体积和重量都比较大，转换效率和稳定度较差，系统结构复杂。其主要存在以下问题：1、现有的真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统的灭弧信号取自高压回路，安全性和可靠性低；2、现有的真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统在灭弧时，由于调功器的作用，变压器瞬间断电后又上电，会造成磁通极性与剩磁极性的“撞车”。产生危害性冲击电流和电压。电网污染大；3、现有的真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统使用调功器作为灭弧装置，系统成本高且复杂；4、现有的真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统在运行过程中因调功器损坏等异常原因产生的过大的直流分量会使工频变压器产生响声，振动，甚至烧毁变压器。系统维护成本高；5、现有的真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统的反馈组件，整流组件和储能电容需外接，系统成本高，安装耗时；6、现有的真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统不适用于单相电网供电，电网适应能力差。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种可以有效降低产品体积和重量、工作稳定可靠且灭弧效果良好的用于真空镀膜电子枪高压电源系统自动灭弧方法的灭弧系统，其包括分别独自与三个输入端电性相连的三组低频整流模块、与每一组该低频整流模块电性相连的高频功率驱动模块、与该高频功率驱动模块电性相连的高频变压器、与该高频变压器电性相连的高频整流和电压叠加及储能模块以及设置于所述高频功率驱动模块和高频变压器之间的灭弧反馈模块和稳压反馈模块，其中所述灭弧反馈模块和稳压反馈模块还通过设置有的用于调制高频高压电的脉宽调制器与所述高频功率驱动模块相连。

进一步地，所述高频变压器其上的初级线圈回路中还设置有一个用于检测真空室内是否产生电弧的灭弧器件，其中当所述灭弧器件检测到真空室内产生电弧时，该灭弧器件向所述脉宽调制器发出关闭控制信号并将其关闭。

再进一步地，三个所述输入端为分开使用时可采用三相四相制电网供电和并联使用时采用单相电网供电的独立供电结构。

本方案中为了使得真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统的体积和重量减少，本方案使用高频变压器作为电压变换，由于高频变压器工作处于高频状态，功率密度大，效率高，从而能够很好的解决现有的电源体积大、笨重且效率低下的问题；同时为了本方案中的真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统的自动灭弧效果更加稳定可靠，本方案通过在高频变压器的初级线圈回路中放置一个有用于检测真空室内是否产生电弧的灭弧器件，工作时，当该灭弧器件检测到真空室内有电弧产生时，高频变压器上的初级线圈上的电流便会变大，灭弧器件会向脉宽调制器发出关闭控制信号，将脉宽调制器关闭，从而关闭直流高压电而灭弧，灭弧动作完成后直流高压电可自动回复正常工作。

附图说明

图1为现有真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统工作原理结构方框示意图。

图2为本实用新型中的真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统工作原理示意图。

图3为本实用新型中的真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统的原理结构方框示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明：