[实用新型]废旧硅片浇铸成型硅锭用定向凝固炉

说明书

技术领域

本实用新型属于硅锭浇铸技术领域，特别是涉及一种废旧硅片浇铸成型硅锭用定向凝固炉。

背景技术

现有硅锭浇铸用定向凝固炉，在运行前通过抽真空管道及抽真空泵机组将炉体内腔抽成真空状态，使得腔室内压力迅速降到0.05MPa以下，运行时通过气控球阀关闭。在某个生产阶段需要通过进气管道充入氩气，并通过气控球阀来控制进气量。气控球阀作为自动阀控制方便，但是一旦气动元件出现故障，或者在发生断气时，就无法实现连续生产，大大降低了生产效率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题就是克服上述现有技术的不足，而提供一种结构简单，使用方便；能够实现连续性生产，从而提高生产效率的废旧硅片浇铸成型硅锭用定向凝固炉。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：

设计一种废旧硅片浇铸成型硅锭用定向凝固炉，包括炉体、进氩气管道和抽真空管道及抽真空泵机组，其中在进氩气管道上设有气控球阀Ⅰ，在抽真空管道上设有气控球阀Ⅱ，在所述进氩气管道上并联有支管道Ⅰ，在支管道Ⅰ上装有手动阀Ⅰ；所述抽真空管道上并联有支管道Ⅱ，在支管道Ⅱ上装有手动阀Ⅱ。

进一步的，所述抽真空管道出口与抽真空泵机组之间设有杂质过滤器。

优选的，所述进氩气管道与炉体之间通过法兰盘Ⅰ及紧固件连接。

优选的，所述抽真空管道与炉体之间通过法兰盘Ⅱ及紧固件连接。

优选的，所述抽真空管道与抽真空泵机组之间通过法兰盘Ⅲ及紧固件连接。

本实用新型技术方案的有益效果是：

1、在结构上，本实用新型废旧硅片浇铸成型硅锭用定向凝固炉在进氩气管道和抽真空管道上分别设有旁通支路，并设有手动阀，一旦气动球阀出现故障或者意外发生断气时，可以通过手动阀打开旁通支路，继续生产；在自然停机时再进行检修或者更换，从而实现连续性生产，提高了生产效率。

2、在结构上，本实用新型在抽真空管道上增设杂质过滤器，对抽气过程中气体中所含的来自炉腔内的石墨粉及其它固体颗粒杂质进行过滤，避免颗粒杂质进入泵体内而对泵内机械部件进行磨损甚至使泵机组故障停机，因而有助于提高泵机组的使用寿命，减少故障停机的次数，进一步提高生产效率。此外，各部分之间通过法兰盘及紧固件连接，方便快速安装或者拆卸维修，使用更方便。

3、综上，本实用新型废旧硅片浇铸成型硅锭用定向凝固炉结构简单，使用方便，有助于实现连续性生产，从而提高生产效率，因此，非常适于推广实施。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明，其中：

图1为本实用新型废旧硅片浇铸成型硅锭用定向凝固炉的结构示意图之一；

图2为本实用新型废旧硅片浇铸成型硅锭用定向凝固炉的结构示意图之二；

图中序号：1、炉体，2、进氩气管道，3、抽真空管道，4、抽真空泵机组，5、气控球阀Ⅰ，6、气控球阀Ⅱ，7、支管道Ⅰ，8、手动阀Ⅰ，9、支管道Ⅱ，10、手动阀Ⅱ，11、法兰盘Ⅰ，12、法兰盘Ⅱ，13、法兰盘Ⅲ，14、杂质过滤器。

具体实施方式

实施例一：

参见图1，图中，本实用新型废旧硅片浇铸成型硅锭用定向凝固炉，包括炉体1、进氩气管道2和抽真空管道3及抽真空泵机组4，其中在进氩气管道上设有气控球阀Ⅰ5，在抽真空管道上设有气控球阀Ⅱ6，在进氩气管道上并联有支管道Ⅰ7，在支管道Ⅰ上装有手动阀Ⅰ8；在抽真空管道上并联有支管道Ⅱ9，在支管道Ⅱ上装有手动阀Ⅱ10。进氩气管道、抽真空管道与炉体之间分别通过法兰盘Ⅰ、Ⅱ11、12、及螺栓固定连接。在抽真空管道与抽真空泵机组之间通过法兰盘Ⅲ13及螺栓固定连接。

实施例二：

参见图2，图中，本实施例与实施例一结构相似，其中相同编号代表意义相同，结构上相同部分在此不再重述，其区别在于：本实施例在抽真空管道出口与抽真空泵机组之间设有杂质过滤器14。

以上所述仅为本实用新型示意性的具体实施方式，并非用以限定本实用新型的范围，任何本领域的技术人员在不脱离本实用新型构思和原则的前提下所做出的等同变化与修改，均应属于本实用新型保护的范围。