[实用新型]一种水冷压电变形镜

权利要求书

1.一种水冷压电变形镜，包括镜体，镜体支撑件和压电片，镜体支撑件中设有容纳冷却液的冷却腔，冷却腔具有冷却液入口和冷却液出口，镜体设置于镜体支撑件顶部以封闭冷却腔；其特征在于：压电片呈环形，压电片作为边框固定于镜体；压电片与镜体之间设置第一电极，压电片的上表面设置第二电极；镜体未被压电片覆盖的部分作为镜体的工作区域；镜体和镜体支撑件固定。

2.如权利要求1所述的水冷压电变形镜，其特征在于：第一电极为与压电片形状、尺寸相同的整体电极，第二电极为由电极块组成的分体电极，电极块包括最外层的环形块和内层的扇形块，多个扇形块等距离分布围成一个组合环，环形块与组合环同轴设置，组合环为一个或者两个或者多个。

3.如权利要求1或2所述的水冷压电变形镜，其特征在于：镜体由压紧机构向镜体支撑件压紧，压紧机构包括与镜体支撑件螺接的螺钉和将压电片和镜体向镜体支撑件压紧的压板，螺钉沿镜体的外周均匀分布，压板与第二电极之间有距离，压板在外、第二电极在内；镜体与镜体支撑件之间设置第一垫圈，压电片与压板之间设置第二垫圈。

4.如权利要求3所述的水冷压电变形镜，其特征在于：镜体的工作区域镀有高反射率的介质膜或者金属膜。

5.如权利要求4所述的水冷压电变形镜，其特征在于：镜体呈圆形，压电片和第一电极呈圆环形，第二电极的组合环由扇形块以圆心等间距阵列分布；压板为法兰。

6.如权利要求5所述的水冷压电变形镜，其特征在于：压电片位于镜体外侧，镜体内侧与冷却腔相连。