[实用新型]热电偶引出装置有效

专利信息
申请号: 201520546301.4 申请日: 2015-07-24
公开(公告)号: CN204788703U 公开(公告)日: 2015-11-18
发明(设计)人: 王宝友;王鹏;李素华;刘祥超;王燕锋 申请(专利权)人: 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司
主分类号: G01K7/02 分类号: G01K7/02
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 唐清凯
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 热电偶 引出 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及真空测温领域,特别是涉及一种热电偶引出装置。

背景技术

工业生产中广泛应用各种热电偶进行测温控温作业,而温度作为生产中的一个关键因素,必须得到精确有效的控制。在真空腔室作业时,除了需要精确控制作业温度,还需要保证真空腔室的密封性能。因此,如何将热电偶引出同时又能保证真空腔室的密封性是一个非常重要的问题。

由于真空腔室的上表面通常会设置盖板以盖住真空腔室口,因此进行测温时无垂直测试接口,热电偶需要弯曲引出真空腔室。传统的热电偶从真空腔室引出的通道为盖板与真空腔室之间的间隙,同时在该间隙内设置密封圈用于密封,为保证真空腔室的更好的密封性,需要在该密封圈两侧对其施加较大的压应力,然而,这样会导致热电偶极容易被压断,造成浪费。

实用新型内容

基于此,有必要针对传统的热电偶的引出方式导致热电偶极容易被压断造成浪费的问题,提供一种热电偶不容易被压断避免造成浪费的热电偶引出装置。

一种热电偶引出装置,用于将热电偶由真空腔室引出,所述真空腔室设有供所述热电偶引出的管道,所述热电偶引出装置包括:

导向件,内部沿其轴向设置有贯穿且与所述管道相通的第一通孔,所述导向件包括相对的第一端部和第二端部,所述第一端部沿所述第一通孔的径向设置有与所述第一通孔相连通的第二通孔,所述第二端部与所述真空腔室连接;

固定件,与所述导向件的所述第一端部固定连接,所述固定件用于封闭所述第一端部;

密封件,位于所述第一通孔内,所述密封件由所述固定件抵压实现所述导向件与热电偶之间的密封。

上述热电偶引出装置包括依次连接的导向件、固定件和密封件,与传统的热电偶从真空腔室的上面开口引出这种方式相比,本申请的热电偶引出装置内部设置有贯穿的第一通孔,因此可与真空腔室内设置的供热电偶引出的管道相配合使用,其中,第一通孔与上述管道对应相连通形成贯穿的通道,热电偶可以依次从真空腔室的管道、第一通孔和第二通孔引出,同时密封件起到密封作用,而固定件能够保证整个热电偶引出装置正常使用。热电偶从本申请的热电偶引出装置引出时不容易被压断,能够避免造成浪费,有利于应用。

在其中一个实施例中,所述第一通孔具有至少两种不同规格的横截面积,所述第一端部内部的所述第一通孔的横截面积大于位于所述第二端部内部的所述第一通孔的横截面积,且所述第一端部向所述第二端部过渡段的所述第一通孔的横截面积逐渐减小。

在其中一个实施例中,所述热电偶引出装置还包括用于压紧密封件以增加密封性能的压紧件,所述压紧件位于所述密封件与所述固定件之间,且分别与所述密封件、所述固定件相抵接。

在其中一个实施例中,所述压紧件与所述热电偶之间设有规定的距离。

在其中一个实施例中,所述第一端部沿圆周方向设置有一圈所述第二通孔,每个所述第二通孔的直径不小于热电偶的直径。

在其中一个实施例中,所述密封件的内部设置有能够使热电偶通过的通道。

在其中一个实施例中,所述密封件置于第一端部的第一通孔和第二端部的第二通孔之间,密封第二端部的第一通孔。

在其中一个实施例中,所述密封件为弹性件,所述密封件在所述固定件的挤压变形下分别与所述固定件和所述导向件紧密接触。

在其中一个实施例中,所述热电偶引出装置还包括用于连接真空腔室内设置的供热电偶引出的管道与所述导向件的连接件。

在其中一个实施例中,所述连接件为法兰。

附图说明

图1为一实施方式的热电偶引出装置的立体示意图;

图2为一实施方式的热电偶引出装置的右视图;

图3为一实施方式的热电偶引出装置沿图2中D-D方向的剖面图;

图4为一实施方式的热电偶引出装置的主视图;

图5为一实施方式的热电偶引出装置的仰视图;

图6为一实施方式的热电偶引出装置的俯视图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进,因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

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