[实用新型]一种硅芯炉

权利要求书

1.一种硅芯炉，其特征在于，包括炉体，以及设置在所述炉体内的长晶托盘，设置在长晶托盘上并用于盛放原料多晶硅料的条形坩埚，以及用于熔化所述原料多晶硅料的加热装置，且所述托盘内设置有冷却气体通道，还包括与所述冷却气体通道连通的氩气冷却系统。

2.如权利要求1所述的硅芯炉，其特征在于，所述氩气冷却系统包括：

冷却交换器；所述冷却交换器包括外壳以及设置在所述外壳内的多个换热管道，且所述外壳与所述换热管道之间形成容纳换热液体的腔体；

进气管道，将所述换热管道的出气口与所述冷却气体通道的进气口连通并向所述硅芯炉供冷气；

出气管道，将所述换热管道的进气口与所述冷却气体通道的出气口连通并导出硅芯炉内的热气；所述出气管道包括外管以及套装在外管内的内管，且所述外管与内管之间具有环形的容纳管道，所述容纳管道与所述腔体连通。

3.如权利要求2所述的硅芯炉，其特征在于，所述出气管道包括主管道以及与所述主管道连通的两个分管道，其中，所述主管道与所述换热管道的进气口连通，所述两个分管道分别与所述冷却气体通道的出气口连通。

4.如权利要求2所述的硅芯炉，其特征在于，还包括设置在所述进气管道上的气体循环泵。

5.如权利要求4所述的硅芯炉，其特征在于，所述气体循环泵为罗茨泵。

6.如权利要求2～5任一项所述的硅芯炉，其特征在于，所述出气管道由多节通过波纹软管连接的管道组成。

7.如权利要求6所述的硅芯炉，其特征在于，所述换热管道为三根，且三根换热管道呈品字形排列，所述三根换热管道共用一个出气口和一个进气口。

8.如权利要求6所述的硅芯炉，其特征在于，还包括分别设置在所述出气管道和所述进气管道上的蝶阀。