[实用新型]晶棒承载装置有效
申请号: | 201520541775.X | 申请日: | 2015-07-24 |
公开(公告)号: | CN204894264U | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
发明(设计)人: | 于文敏;姚小威;魏双斌 | 申请(专利权)人: | 包头市山晟新能源有限责任公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 阚梓瑄;路兆强 |
地址: | 014100 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 承载 装置 | ||
1.一种晶棒承载装置,包括一长条形的平板部,所述平板部具有用于粘结晶棒的下表面,其特征在于,所述平板部的上表面的中部以及两端各固定设置有一个连接部,所述连接部的顶面为水平面,且所述连接部上侧形成有一个沿平板部的宽度方向贯通所述连接部的T型通槽。
2.根据权利要求1所述的晶棒承载装置,其特征在于,所述平板部的长度为所承载晶棒长度的1.5-1.7倍。
3.根据权利要求2所述的晶棒承载装置,其特征在于,所述平板部的长度为650mm。
4.根据权利要求3所述的晶棒承载装置,其特征在于,所述连接部的两端设有把手。
5.根据权利要求1所述的晶棒承载装置,其特征在于,所述连接部与所述平板部为一体化结构。
6.根据权利要求1所述的晶棒承载装置,其特征在于,所述连接部通过螺纹紧固件固连于所述平板部。
7.根据权利要求1所述的晶棒承载装置,其特征在于,所述T型通槽包括贯通所述连接部的两侧壁的水平槽道以及与所述水平槽道连通并延伸至所述连接部的上表面的竖直槽道。
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