[实用新型]一种LDI双工件曝光装置有效
申请号: | 201520536036.1 | 申请日: | 2015-07-21 |
公开(公告)号: | CN205028025U | 公开(公告)日: | 2016-02-10 |
发明(设计)人: | 张磊;王晓光;卫功文 | 申请(专利权)人: | 合肥芯硕半导体有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ldi 双工 曝光 装置 | ||
1.一种LDI双工件曝光装置,其特征在于,包括第一保护门、第二保护门、第一工件台与第二工件台;
所述第一工件台、第二工件台分别用于固定待曝光的PCB板,所述第一工件台、第二工件台分别具有一移动行程,所述第一工件台、第二工件台在自身的移动行程范围内对所述PCB板进行曝光;
所述第一保护门、第二保护门分别设于所述第一工件台、第二工件台的上侧并将所述第一工件台、第二工件台的曝光区域遮盖,所述第一保护门、第二保护门分别平行且处于不同平面,所述第一保护门、第二保护门可沿自身所在平面位移至所述第二工件台、第一工件台的上侧。
2.如权利要求1所述的LDI双工件曝光装置,其特征在于,其还包括设于所述第一保护门、第二保护门之间的保护挡板,所述保护挡板与所述第一保护门、第二保护门垂直,所述保护挡板用于间隔所述第一工件台、第二工件台。
3.如权利要求1或2所述的LDI双工件曝光装置,其特征在于,所述第一工件台与第二工件台上分别设有吸盘,所述吸盘用于吸附PCB板。
4.如权利要求3所述的LDI双工件曝光装置,其特征在于,还包括导轨组件,所述第一保护门、第二保护门与所述导轨组件连接,并在所述导轨组件上滑动完成位移。
5.如权利要求3所述的LDI双工件曝光装置,其特征在于,所述第一工件台与第二工件台与所述导轨组件连接,并在所述导轨组件上滑动完成位移。
6.如权利要求5所述的LDI双工件曝光装置,其特征在于,还包括驱动组件,所述驱动组件用于驱动所述第一保护门、第二保护门、第一工件台、第二工件台在所述导轨组件上移动。
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