[实用新型]腔长缩小的环形腔准分子激光器有效

专利信息
申请号: 201520535492.4 申请日: 2015-07-22
公开(公告)号: CN204947314U 公开(公告)日: 2016-01-06
发明(设计)人: 王宇;周翊;宋兴亮;沙鹏飞;范元媛;赵江山;石海燕;李慧;丁金滨;单耀莹;王倩;蔡茜玮;彭卓君 申请(专利权)人: 中国科学院光电研究院
主分类号: H01S3/083 分类号: H01S3/083
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 宋焰琴
地址: 100094*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 缩小 环形 准分子激光
【权利要求书】:

1.一种准分子激光器,包括主振荡腔(MO)、功率放大腔(PA)、分束系统(Splitter)、第一高反镜(HR1)、第二高反镜(HR2)和第三高反镜(HR3),

所述主振荡腔(MO)用于产生种子光,该种子光通过所述分束系统(Splitter)进入所述功率放大腔(PA),

所述分束系统(Splitter)、第一高反镜(HR1)、第二高反镜(HR2)和第三高反镜(HR3)组成四边形的环形光路,

其特征在于:

所述功率放大腔(PA)具有第一布儒斯特窗口对(B1、B1’)和第二布儒斯特窗口对(B2、B2’),所述第一布儒斯特窗口对(B1、B1’)与该功率放大腔(PA)的放电电极同处于所述环形光路的第一光路,所述第二布儒斯特窗口对(B2、B2’)处于平行于所述第一放大光路的所述环形光路的第二光路。

2.如权利要求1所述的准分子激光器,其特征在于,所述功率放大腔(PA)具有两个平行的放电电极,环形光路中的第一光路和第二光路分别通过所述两个放电电极。

3.如权利要求1或2所述的准分子激光器,其特征在于,所述第一高反镜(HR1)、第二高反镜(HR2)和第三高反镜(HR3)为45°角反射镜。

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