[实用新型]一种晶圆切割机之自动添加药剂系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆切割机之自动添加药剂系统，用于对晶圆切割过程中清洗药剂添加的自动化控制，属于IC（集成电路）测试领域。

背景技术

一般半导体元件，如晶粒（Die）是以半导体材料制作而成未经封装的一小块集成电路本体，通常情况下，集成电路是以大批方式经光刻等多项步骤，制作在大片的半导体晶圆上，然后再分割成方型小片，这一方型小片就称为晶粒，每个晶粒就是一个集成电路的复制品。

而晶圆在切割时，需要加入清洗药剂，作业员通过手动打开阀门向切割机台中注入清洗药剂。然而，由于人工操作的不可控因素，作业员在作业时可能会出现忘记向切割机中注入清洗药剂或是在加入清洗药剂之后忘记关闭阀门，如此，会因清洗药剂的未添加或过量加入而导致产品异常，此外，过量的添加清洗药剂，还会造成了资源浪费。

因此，为了避免以上弊端，一种晶圆切割机之自动添加药剂系统亟待出现。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割机之自动添加药剂系统，避免人员手动加药而造成的产品异常或药剂浪费。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种晶圆切割机之自动添加药剂系统，包括加药阀门，该自动添加药剂系统还包括切割控制器、电磁阀、继电器以及气帘模组，所述切割控制器、电磁阀和继电器依次串接，所述加药阀门和气帘模组再分别与所述继电器连接；

所述切割控制器与所述电磁阀形成可以闭合或断开的控制电路一，所述继电器、加药阀门和气帘模组形成可以闭合或断开的控制电路二，所述控制电路一闭合时，所述控制电路二亦闭合，所述加药阀门和气帘模组同时打开；所述控制电路一断开时，所述控制电路二亦断开，所述加药阀门和气帘模组同时关闭。

优选的，所述切割控制器连接有一触控屏，所述触控屏上设置有用于控制气帘参数和加药阀门开启及关闭参数的按钮。

与现有技术相比，本实用新型提供的晶圆切割机之自动添加药剂系统至少具有以下优点：

本实用新型针对手动开启加药阀门方式进行改善，将加药阀门和气帘模组经由继电器与电磁阀相连接，通过电磁阀同時控制加药阀门与气帘模组的开启，实现自动添加药剂的目的，从而避免人员手动加药而造成的产品异常或药剂浪费。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型结构特征和技术要点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

图1为本实用新型实施例所公开的一种晶圆切割机之自动添加药剂系统的结构示意图；

图2为本实用新型实施例所公开的一种晶圆切割机之自动添加药剂系统的连接示意图。

附图标记说明：11-切割控制器，12-电磁阀，13-继电器，14-加药阀门，15-气帘模组，A-控制电路一，B-控制电路二。

具体实施方式

下面将结合本实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行具体、清楚、完整地描述。

参见图1所示，本实用新型一较佳实施例公开了一种晶圆切割机之自动添加药剂系统，包括加药阀门14，自动添加药剂系统还包括切割控制器11、电磁阀12、继电器13以及气帘模组15，切割控制器11、电磁阀12和继电器13依次串接，加药阀门14和气帘模组15再分别与继电器13连接；

切割控制器11与电磁阀12形成可以闭合或断开的控制电路一A，继电器13、加药阀门14和气帘模组15形成可以闭合或断开的控制电路二B，控制电路一A闭合时，控制电路二B亦闭合，加药阀门14和气帘模组15同时打开，藉此可以同时进行加药和气帘吹气的作业；控制电路一A断开时，控制电路二B亦断开，加药阀门14和气帘模组15同时关闭，藉此可以停止加药和气帘吹气的作业。

参见图2所示，具体的，继电器13具有四个接口，分别标记为1、2、3和4，接口1和2与电磁阀12相连接，切割控制器11与电磁阀12相连接，从而形成上述控制电路一A，接口3与加药阀门14和气帘模组15相连接，接口4与220V电源正极/负极连接，加药阀门14与220V电源负极/正极连接，从而形成上述控制电路二B。

优选的，切割控制器11连接一触控屏，触控屏上设置有用于同时控制设置气帘参数与加药阀门开启及关闭的按钮。通过触控屏，可以设置加药参数及气帘参数及气帘开启、关闭的时间等参数。

本实用新型工作原理如下: