[实用新型]一种离子束刻蚀束斑分布矫正装置

权利要求书

1.一种离子束刻蚀束斑分布矫正装置，其特征在于，包括：离子源系统与置于其下方的快门系统；

所述离子源系统包括：离子源导轨及置于其上方的离子源；所述快门系统包括：导轨及其置于上方的固定挡板与可移动挡板，以及驱动电机；其中：

所述驱动电机通过驱动杆与第一传动齿轮相连，所述第一传动齿轮还分别与离子源及第二传动齿轮相连，所述第二传动齿轮还与可移动挡板相连。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一传动齿轮与第二传动齿轮的齿数比为i＝1/2。