[实用新型]一种用于气固反应的配气系统

权利要求书

1.一种用于气固反应的配气系统，其特征在于：包括供气单元、气路组件、清扫气路组件、混合器(8)、安全泄气阀(9)、反应器(10)、温控装置(11)和气体检测装置(12)，其中，供气单元包括含减压器的储气罐(1)、一级三通接头(2)、一级质量流量计(4)和单向阀(5)，气路组件包括二级三通接头(6)和二级针阀(7)，清扫气路组件包括主管路和一级针阀(3)；含减压器的储气罐(1)经一级三通接头(2)与一级质量流量计(4)相连，一级三通接头(2)的另一端口经一级针阀(3)与清扫气路相连，一级质量流量计(4)后设置单向阀(5)，单向阀(5)后经一个二级三通接头(6)，再分别经两个二级针阀(7)与两个混合器(8)进气口连接，混合器(8)设有安全泄气阀(9)，混合器(8)出口端分别经过反应器(10)与气体检测装置(12)相连接，反应器(10)设置在温控装置(11)中。

2.根据权利要求1所述的一种用于气固反应的配气系统，其特征在于：所述配气系统包括三个以上供气单元。

3.根据权利要求1所述的一种用于气固反应的配气系统，其特征在于：所述清扫气路组件的主管路的两端分别与第一个供气单元和最后一个供气单元连接，所述主管路与第一个供气单元和其它供气单元连接管路上均设有一级针阀(3)。

4.根据权利要求1所述的一种用于气固反应的配气系统，其特征在于：该配气系统还包括二级质量流量计(13)，所述二级质量流量计(13)设置在混合器(8)与反应器(10)相连接的管路上。