[实用新型]一种磷化氢环流熏蒸尾气处理装置

权利要求书

1.一种磷化氢环流熏蒸尾气处理装置，其特征在于：所述的装置包括储液罐（1）和喷淋塔（2）；在所述的储液罐（1）上设有磷化氢气体进口（3）、压缩空气进口（4）、自来水进口（5）、人孔（6）、液位计（7）、放空管（9）、循环液出口（16），磷化氢气体进口（3）、压缩空气进口（4）分别与多孔管（8）连接，多孔管（8）置于储液罐（1）内，储液罐（1）底部设置有支腿（19）；该喷淋塔（2）上安装有检测装置（10）、手孔（11）、处理后空气出口（18）、循环液进口；喷淋塔（2）设置在储液罐（1）上方且通过连接法兰（17）连接；循环液出口（16）与循环液进口（16）之间设有循环管（15）和循环泵（12），循环管（15）上连接有流量计（13）和球阀。

2.根据权利要求1所述的一种磷化氢环流熏蒸尾气处理装置，其特征在于：所述的储液罐（1）底部设置有支腿（19）。

3.根据权利要求1所述的一种磷化氢环流熏蒸尾气处理装置，其特征在于：所述的循环液出口（16）和循环泵（12）之间、循环液进口与循环泵（12）之间分别通过循环管（15）连接，在循环液进口与循环泵（12）之间的主循环管上设有流量计（13），流量计（13）上、下方的主循环管上连接有球阀二（20）和球阀三（21），在循环液进口与循环泵（12）之间的旁支循环管上装设有球阀一（14）。