[实用新型]一种真空油扩散泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空油扩散泵，具体涉及一种真空油扩散泵。

背景技术

真空油扩散泵是一种蒸气射流泵，其工作原理以把工作介质(扩散泵油)的动能在抽气方向上传给被抽气体为基础。扩散泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口排除的过程。

真空油扩散泵在使用过程中，热源是形成高速蒸汽射流与油液体之间循环的动力之一，热源不足会导致不能形成充足的高速蒸汽射流，从而影响抽气效率。现有的真空油扩散泵大多采用电热丝制品加热的方式，由于电热丝的电热转换效率低，所以加热速度慢，从而导致抽气时间长，进而影响设备的工作效率。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的问题之一。

本实用新型的目的之一在于提供一种真空油扩散泵，该真空油扩散泵采用电磁加热装置替代传统的电热丝加热装置，从而加快加热速度，减少抽气时间，进而提高工作效率。

为解决背景技术中存在的问题，本实用新型采用技术方案如下：

一种真空油扩散泵，包括进气口、泵体、油腔、出气口、泵体外壁上的冷却装置以及设置在泵体内的多个喷嘴、泵芯以及导流管，还包括电磁加热装置，所述电磁加热装置设置在所述真空油扩散泵的底部，所述油腔设置在所述电磁加热装置上，所述泵芯与所述油腔连通，所述多个喷嘴设置在所述泵芯的外周，所述导流管设置在所述泵芯内，所述进气口设置在所述泵体的顶部，所述出气口设置在所述泵体的尾部。

进一步的，所述喷嘴为伞形喷嘴。

本实用新型的有益效果在于，电磁加热因线圈本身基本不会产生热量，因而寿命长，无需检修，无维护更换成本；热量聚集于加热体内部，热量利用充分，安全可靠；采用内热加热方式，加热体内部分子直接感应磁能而生热，热启动快，高效节能；环境温度从原来电阻圈加热时的100℃以上降低至常温，大大改善生产现场的工作环境。

附图说明

图1所示为本实用新型真空油扩散泵的结构示意图。

具体实施方式

下文将结合具体实施例详细描述本实用新型。应当注意的是，下述实施例中描述的技术特征或者技术特征的组合不应当被认为是孤立的，它们可以被相互组合从而达到更好的技术效果。

以下将结合附图详细描述本实用新型。

如图1所述，真空油扩散泵1包括进气口11、泵体12、油腔14、电磁加热装置15、出气口16、泵体外壁上的冷却装置19以及设置在泵体12内的多个伞形喷嘴17、泵芯13以及导流管18。电磁加热装置15设置在真空油扩散泵1的底部，油腔14设置在该电磁加热装置15上，泵芯13与油腔14连通，多个伞形喷嘴17设置在泵芯13的外周，导流管18设置在泵芯13内并与伞形喷嘴17连通，进气口11设置在泵体12的顶部，出气口16设置在泵体12的尾部。

本实用新型的真空油扩散泵1的工作原理如下：当油腔14中的泵油被电磁加热装置15加热达到沸腾温度(约200℃)时，产生的油蒸气A在泵芯13的作用下沿着导流管18经喷嘴17向下高速喷出；因喷嘴17外有机械泵(未示出)提供的真空(1～10^-1Pa)，故油蒸气流A可喷出一长段距离，构成一个向出气口16方向运动的射流；进气口11附近被抽气体的分压力高于油蒸气流A的气体分压力，由此被抽气体分子不断扩散到油蒸气流A中，油蒸气A撞击被抽气体分子，从而使被抽气体分子沿蒸气流束的方向高速运动，气体分子碰到泵壁又反射回来，再碰到蒸气流的碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁，经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，最后沿箭头C指示的方向由机械泵抽走；蒸汽流A碰上经泵外壁上的冷却装置19冷却的泵壁会凝结为液体并回流至扩散泵1底部的油腔14重新被加热，如此循环工作。

本实用新型采用电磁加热装置，由于电磁加热的线圈本身基本不产生热量，因而寿命长，无需检修，无维护更换成本；高频电磁作用发热，热量利用充分，基本无散失，加热时间短，抽气速度快，效率高；采用内热加热方式，加热体内部分子直接感应磁能而生热，热启动快，平均预热时间比电阻圈加热方式缩短60％以上，同时热效率高达90％以上，在同等条件下，比电阻圈加热节电30—70％，大大提高生产效率；线圈本身不发热，热阻滞小、热惯性低，温度控制实时准确；电磁线圈为定制专用耐高温高压特种电缆线绕制，绝缘性能好，绝无漏电，短路故障，安全无忧；环境温度从原来电阻圈加热时的100℃以上降低至常温，大大改善了生产现场的工作环境。

本文虽然已经给出了本实用新型的一些实施例，但是本领域的技术人员应当理解，在不脱离本实用新型精神的情况下，可以对本文的实施例进行改变。上述实施例只是示例性的，不应以本文的实施例作为本实用新型权利范围的限定。