[实用新型]化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备

权利要求书

1.一种化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备，其特征在于，所述的设备包括：

高温炉组件，包括加热炉体、设置于所述的加热炉体内部的耐高温反应管和密封元件，其中所述的耐高温反应管和密封元件组合成一个密闭空间；

可滑动导轨组件，包括底架、导轨和相对于所述的导轨可滑动的滑块，所述的加热炉体固定于所述的滑块上，所述的导轨固定在所述的底架上；

真空混气组件，包括混气架、真空泵机组、混气元件，所述的真空泵机组与混气元件安装于混气架内，所述的混气元件由多路进气管道和混气装置组成，所述的多路进气管道一端与所述的混气装置连接，一端与所需通入的气体源连接；所述的混气架设置于所述的底架下方，所述的真空泵机组与所述的密封元件的抽真空口连接，混气元件与密封元件的进气口连接，在加热过程中，所述的高温炉组件位于所述的混气架的正上方，在加热完成后，所述的高温炉组件沿着导轨移至导轨的远离混气架一端。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备，其特征在于，所述的密封元件为两个密封法兰，所述的两个密封法兰分别设置于所述的耐高温反应管的两端。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备，其特征在于，所述的高温加热炉为上下开合式。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备，其特征在于，所述的高温加热炉两侧分别设置有反应管穿孔，所述的耐高温反应管通过所述的反应管穿孔横向穿设于所述的高温加热炉中。

5.根据权利要求4所述的化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备，其特征在于，所述的可滑动导轨组件还包括支撑架，所述的耐高温反应管两端通过所述的支撑架固定于所述的底架上。

6.根据权利要求1所述的化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备，其特征在于，所述的可滑动导轨组件还包括导轨固定架，所述的导轨通过所述的导轨固定架固定于所述的底架上。

7.根据权利要求1所述的化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备，其特征在于，所述的滑块穿设于所述的导轨上或所述的滑块嵌设于所述的导轨中。

8.根据权利要求1所述的化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备，其特征在于，所述的设备还包括进气控制针阀，所述的混气元件通过所述的进气控制针阀与所述的密封元件的进气口连接。

9.根据权利要求1所述的化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备，其特征在于，所述的化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备还包括真空计和质量流量计，所述的真空计与所述的真空泵机组相连接，在所述的反应管内真空达到要求时关闭，所述的质量流量计与所述的进气管道相连，在通入气体时开启所述的质量流量计。