[实用新型]一种硅晶棒切割用料板托架

说明书

技术领域

本实用新型涉及到半导体制造领域中的硅晶棒，具体的说是一种硅晶棒切割用料板托架。

背景技术

在半导体硅晶片制造过程中，先将待切晶棒粘接在料板上（有两种尺寸，如附图1和附图2），然后才使用NTC-442DM线切割切割粘接好的晶棒。待晶棒切割完毕要用取棒小车将晶棒连同料板取下，这时需要使用人工双手抱着料板将晶棒从小车上取下，由于刚切割后料板上有砂浆比较滑，用手抱料板经常出现料板连同切割后晶棒脱落的事故发生，甚至出现砸到脚的安全隐患；另外，NTC线切有两种料板，一种是粘接（100）晶向晶棒的料板（见图1），另一种是粘接（111）晶棒的料板（见图2），若针对两种料板制作托板，则需要相应两种料板托板，操作上会存在混用用错，非常不方便。

实用新型内容

为解决现有技术中切割后料板容易滑落的问题，本实用新型提供了一种硅晶棒切割用料板托架，而且该料板托架同时适合于两种尺寸的料板。

本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案为：一种硅晶棒切割用料板托架，包括托板和两组提手机构，托板的中部设置有浅槽，托板的边部和浅槽中分别设有与两种尺寸料板对应的螺栓孔A和螺栓孔B，所述提手机构由紧固梁、连接杆和手柄组成，且紧固梁两端的连接头与托板的两边部连接，连接杆设置在紧固梁上，其与紧固梁平行，手柄设置在连接杆的中部位置；所述浅槽上设置有与紧固梁平行的加强筋，加强筋的两端分别与浅槽的两侧壁固定连接。

所述托板上还设置有连接件，该连接件的两端固定在托板的两侧边缘，从而增强托板的强度和整体性。

所述托板的两侧边设置有滑槽，紧固梁两端的连接头设置在两侧的滑槽内，并由螺栓固定在特定的某几个位置，从而调整两组提手机构的位置。

有益效果：本实用新型通过在托板上设置两组螺栓孔，这两组螺栓孔的位置与两种料板上的螺栓孔位置相匹配，从而通过连接螺栓将料板固定在托板上，工人在转运时双手提起手柄即可完成转运，具有结构简单、制作成本低、安全可靠等优点，提高了工人的工作效率，并避免了安全隐患。

附图说明

图1为切割（111）晶向晶棒用料板；

图2为为切割（100）晶向晶棒用料板；

图3为本实用新型的结构示意图；

图4为提手机构的结构示意图；

附图标记：1、托板，101、螺栓孔A，2、浅槽，201、螺栓孔B，3、提手机构，301、手柄，302、连接杆，303、紧固梁，304、连接头，4、连接件，5、加强筋。

具体实施方式

如图所示，一种硅晶棒切割用料板托架，包括托板1和两组提手机构3，托板1的中部设置有浅槽2，托板1的边部和浅槽2中分别设有与两种尺寸料板对应的螺栓孔A101和螺栓孔B201，所述提手机构3由紧固梁303、连接杆302和手柄301组成，且紧固梁303两端的连接头304与托板1的两边部连接，连接杆302设置在紧固梁303上，其与紧固梁303平行，手柄301设置在连接杆302的中部位置；所述浅槽2上设置有与紧固梁303平行的加强筋5，加强筋5的两端分别与浅槽2的两侧壁固定连接。

以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进或限定：

如，所述托板1上还设置有连接件4，该连接件4的两端固定在托板1的两侧边缘；

又如，所述托板1的两侧边设置有滑槽，紧固梁303两端的连接头304设置在两侧的滑槽内，并由螺栓固定在特定的某几个位置，从而实现提手机构3位置的调整。