[实用新型]一种印刷线路的曝光菲林有效
申请号: | 201520449159.1 | 申请日: | 2015-06-26 |
公开(公告)号: | CN204790308U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 张红艳;赵曦;王连建;王沙生;唐海波 | 申请(专利权)人: | 深圳市思迈科新材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/09 | 分类号: | G03F7/09 |
代理公司: | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人: | 施性清 |
地址: | 523900 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 印刷 线路 曝光 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种印刷线路的曝光菲林,更具体地说,涉及一种曝光显影用菲林。
背景技术
导电银浆是重要的电子行业原材料,包括电阻屏银浆、印刷银浆、激光银浆、感光银浆四大类,其中感光银浆最为先进,其使用过程需要应用到曝光、显影,菲林在其电路形成过程中至关重要。一般而言,感光银浆通过丝网印刷过程印刷到PET、ITO、玻璃等基材,然后利用菲林遮挡进行UV曝光。通常,利用感光银浆需要得到超细线宽线距的导电线路,这就需要所涉及的菲林具有很好的曝光补偿性。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于,针对现有技术的缺陷,提供一种印刷线路的曝光菲林。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种印刷线路的曝光菲林,包括主体菲林,所述主体菲林上设有六个开口,分别为第一开口、第二开口、第三开口、第四开口、第五开口及第六开口,所述六个开口为长度相等、宽度不等的结构,且所述六个开口平行设置,所述第四开口为校正开口,用于推断菲林的曝光补偿,所述第四开口上设有若干个线条,线条的宽度均为25微米,线条的线距均为15微米。
在本实用新型所述的一种印刷线路的曝光菲林中,所述主体菲林的材质为PET基材。
在本实用新型所述的一种印刷线路的曝光菲林中,所述六个开口上均设有一凸起部分。
在本实用新型所述的一种印刷线路的曝光菲林中,所述第一开口上设有若干个线条,线条的宽度均为20微米,线距均为20微米。
在本实用新型所述的一种印刷线路的曝光菲林中,所述第二开口上设有若干个线条,线条的宽度均为30微米,线距均为30微米。
在本实用新型所述的一种印刷线路的曝光菲林中,所述第三开口上设有若干个线条,线条的宽度均为40微米,线距均为40微米。
在本实用新型所述的一种印刷线路的曝光菲林中,所述第五开口上设有若干个线条,线条的宽度均为50微米,线距均为50微米。
在本实用新型所述的一种印刷线路的曝光菲林中,所述第六开口上设有若干个线条,线条的宽度均为100微米,线距均为100微米。
实施本实用新型的印刷线路的曝光菲林,具有以下有益效果:本实用新型的印刷线路的曝光菲林通过使用PET为基材制作的菲林可以增加其耐弯折性,且通过第四开口作为校正开口及设置在开口上的凸起部分作为菲林图案的设计得到曝光补偿,减小显影误差,得到合适的曝光、显影后线路。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明,附图中:
图1是本实用新型的印刷线路的曝光菲林的结构示意图。
图2是图1的A部放大图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
图1示出了本实用新型的印刷线路的曝光菲林的结构示意图,包括主体菲林107,所述主体菲林107上设有六个开口,分别为第一开口101、第二开口102、第三开口103、第四开口104、第五开口105及第六开口106,所述六个开口为长度相等、宽度不等的结构,且所述六个开口平行设置,所述第四开口104为校正开口,用于推断菲林的曝光补偿,所述第四开口104上设有若干个线条,线条的宽度均为25微米,线条的线距均为15微米,通过六个开口构成的菲林图案的设计得到曝光补偿,减小显影误差,得到合适的曝光、显影后线路。其中第四开口104为25/15um作为校正,可以推断菲林的曝光补偿。菲林为PET基材。
具体地,所述主体菲林107的材质为PET基材,使用PET为基材制作的菲林可以增加其耐弯折性。
具体地,所述六个开口上均设有一凸起部分108,构成菲林图案的设计得到曝光补偿,减小显影误差,得到合适的曝光、显影后线路。
具体地,所述第一开口101上设有若干个线条,线条的宽度均为20微米,线距均为20微米。
具体地,所述第二开口102上设有若干个线条,线条的宽度均为30微米,线距均为30微米。
具体地,所述第三开口103上设有若干个线条,线条的宽度均为40微米,线距均为40微米。
具体地,所述第五开口105上设有若干个线条,线条的宽度均为50微米,线距均为50微米,如图所示,线条的数量为五个,也可以为其他数量,在此不再进行赘述。
具体地,所述第六开口106上设有若干个线条,线条的宽度均为100微米,线距均为100微米。
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