[实用新型]一种LED晶圆自动清洗机

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械领域，具体地说，本实用新型涉及一种LED晶圆自动清洗机。

背景技术

发光二极管(Light-EmittingDiode，简称LED)是一种将电能转化为光能的半导体电子器件。

目前，国内LED芯片行业迅猛发展，芯片销售市场趋向成熟，芯片毛利率持续走低，如何提升亮度并降低成本成为提升产品竞争力的主要手段。

同时，提高生产效率，单位时间内优质高效的完成某一道工序也是降低成本的一种方式，用智能机械设备代替人工低效作业是LED制造行业的大势所趋。

传统LED晶圆厂在化学抛光工序后，采取人工清洁的方式，效率低且良品率低。

如何解决上述人工清洁LED晶圆效率低且良品率低的问题，便成为亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型涉及一种LED晶圆自动清洗机，以解决传统LED晶圆厂在化学抛光工序后，采取人工清洁的方式，效率低且良品率低的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种LED晶圆自动清洗机，其特征在于，包括：进料盒、一次清洗仓、二次清洗仓、氮气清洁仓、回料盒、取料夹、送料夹与传送带，其中，

所述进料盒，为矩形结构，设置有出口，容纳至少1个LED晶圆，该进料盒的出口与所述传送带的上轨道相连接位置上方还设置有所述取料夹；

所述一次清洗仓，为旋转式圆筒形，设置有出口和入口，该一次清洗仓内设有带喷头的毛刷，该一次清洗仓的入口与所述传送带的上轨道相连接，该一次清洗仓的出口与所述传送带的下轨道相连接；

所述二次清洗仓，为旋转式圆筒形，设置有出口和入口，该二次清洗仓内设有带喷头的毛刷，该二次清洗仓的入口与所述传送带的上轨道相连接，该二次清洗仓的出口与所述传送带的下轨道相连接；

所述氮气清洁仓，为旋转式圆筒形，设置有出口和入口，该氮气清洁仓内设有氮气枪，该氮气清洁仓的入口与所述传送带的上轨道相连接，该氮气清洁仓的出口与所述传送带的下轨道相连接；

所述回料盒，为矩形结构，设置有入口，容纳至少1个LED晶圆承载盘，该回料盒的入口与所述传送带的下轨道相连接位置上方还设置有所述送料夹；

所述传送带，由上下两条轨道组成，所述上下两条轨道分别设置在所述一次清洗仓、二次清洗仓与氮气清洁仓两侧，所述传送带的上轨道与所述进料盒的出口相连接，所述传送带的下轨道与所述回料盒的入口相连接；

所述进料盒、一次清洗仓、二次清洗仓、氮气清洁仓与回料盒从左至右依次排列于所述传送带的上下两条轨道间。

进一步地，其中，所述进料盒内设有至少2个彼此间距相同的塑料隔板，该进料盒内容纳至少3个承载所述LED晶圆的陶瓷盘。

进一步地，其中，所述回料盒内设有至少2个彼此间距相同的塑料隔板，该回料盒内容纳至少3个所述LED晶圆承载盘。

相对于现有技术中的人工清洁LED晶圆的方式，本实用新型的优势在于：

(1)本实用新型所述的一种LED晶圆自动清洗机，可节省清洁工序三分之二的人力成本。如厂商月产10万片，每月则可节省人力成本3万元，同时LED晶圆清洁工序良品率提高5％-15％。

(2)本实用新型所述的一种LED晶圆自动清洗机，用机械自动清洁代替人工手动清洁，提高了生产效率，降低了生产成本，效率高且良品率高。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型所述的一种LED晶圆自动清洗机结构示意图。

具体实施方式