[实用新型]一种曝光机对较小片子进行操作的样品平台有效
| 申请号: | 201520419761.0 | 申请日: | 2015-06-15 |
| 公开(公告)号: | CN204964985U | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
| 发明(设计)人: | 李喜玲;郭党委 | 申请(专利权)人: | 兰州大学 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 曝光 较小 片子 进行 操作 样品 平台 | ||
1.一种曝光机对较小片子进行操作的样品平台,其特征在于,所述样品台为包括光滑正、反两相对面的方形玻璃片,所述样品台一边侧设有定位钉孔,且所述样品台反面设有环形凹槽以及若干条形凹槽;
所述样品台中心设有中心孔,以及以所述中心孔为中心对称分布的若干通孔;各所述通孔与一条形凹槽一端对接,所述条形凹槽另一端朝远离所述中心孔方向伸出并与环形凹槽对接;
所述样品台正面设有定位线,所述定位线与样品台设有定位钉孔的边侧平行。
2.如权利要求1所述的曝光机对较小片子进行操作的样品平台,其特征在于,所述样品台正面设有若干条彼此平行的所述定位线。
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