[实用新型]一种柔性神经微电极阵列

说明书

技术领域

本实用新型涉及生物医学设备领域，尤其涉及一种柔性神经微电极阵列。

背景技术

在进行医学诊断或者相应研究时，需要对人体或者被研究动物的体内电势进行测量和记录，另外经皮电刺激是临床经常使用的一种辅助疾病治疗的手段。各种医用测量仪器在进行生物电检测时以及对病体施加电刺激辅助治疗时都需要通过适当的电极与机体接触实现电信号的传递，在针对人体神经系统进行生物电检测时，需要用到柔性神经微电极阵列，近年来，由于基于柔性衬底的电极阵列具有很好的生物兼容性和对组织较小的损害，被广泛研究和应用于神经修复植入式器件。但基于此类柔性衬底一般是平面电极阵列，目前存在的微米尺度的柔性微电极，在没有进行表面修饰的情况下，存在两个问题：1、绝缘层的存在，导致金属电极部分处于凹陷的状态，电极随着尺寸的减小，很难与待测位置形成良好的接触；2、随着电极尺寸的减小，电极的表面阻抗增加，神经电生理信号通常情况下比较微弱，电极表面阻抗的增加会影响信号的测量。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种能够降低接触阻抗的柔性神经微电极阵列，能够有效提高柔性神经微电极与待测部位的接触面积，降低柔性神经微电极与待测部位的接触阻抗。

进一步的，本实用新型还能够降低微电极位点的机械强度，保证了在与待测部位良好接触的同时，不会对待测部位造成任何损伤。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种柔性神经微电极阵列，包括柔性基底、绝缘层、微电极单元、导线和引线焊点，所述的微电极单元、导线和引线焊点设置在所述的柔性基底上，所述的微电极单元与所述的引线焊点之间通过所述的导线连接，所述的绝缘层覆盖在所述的柔性基底上，所述的微电极单元外露于所述的绝缘层，所述的柔性基底上设有多个外露于所述绝缘层的空心状凸起，在所述的绝缘层的空心状凸起上设有粘附层，所述的微电极单元设置在所述的粘附层上。

优选地，所述的绝缘层在所述的引线焊点的位置设有开口，所述的引线焊点通过所述绝缘层的开口外露。

优选地，在所述的绝缘层的空心状凸起上设有粘附层，所述的微电极单元设置在所述的粘附层上。

优选地，所述的粘附层的材质包括钛、铬，或包含这两种元素中的一种或两种的合金，所述的微电极单元的材质为金。

优选地，所述的柔性基底的材质包括聚二甲基硅氧烷，所述的绝缘层的材质包括可光刻的聚二甲基硅氧烷。

优选的，所述的绝缘层由多个片状绝缘材料组成。

本实用新型中提供一种柔性神经微电极阵列，其包括柔性基底、绝缘层、微电极单元、导线和引线焊点，微电极单元、导线和引线焊点均设置在柔性基底上，微电极单元和引线焊点之间通过导线连接，绝缘层覆盖在柔性基底上，微电极单元外露于绝缘层，本实用新型中的柔性基底上设有多个外露于绝缘层的空心状凸起，微电极单元设置在柔性基底的空心状凸起上的粘附层上，与传统的柔性神经微电极阵列相比，本实用新型中柔性基底上的空心凸起上设置微电极单元，相比于在平面式的柔性基底微电极，凸起上的微电极增加了电刺激位点的表面积，能够有效降低接触阻抗，并且由于本实用新型中的柔性基底上的凸起是空心的，因此其能够降低微电极位点的整体强度，使其在使用时不易对被测位置造成损伤；

本实用新型在制作时使用带有多个凸起的板状微电极制作模板，在微电极制作模板上旋涂一层柔性基底层，之后在柔性基底层上铺设导线和引线焊点，在柔性基底层的凸起部位沉积微电极单元，并在柔性基底层上铺设绝缘层，并使柔性基底层的凸起部位及凸起部位上的微电极单元外露于绝缘层即可，制作过程简单快捷，且成本低廉。

附图说明

图1为本实用新型中的一种柔性神经微电极阵列的立体结构示意图；

图2为本实用新型中的一种柔性神经微电极阵列的侧面结构剖视图；

图3为本实用新型中的一种柔性神经微电极阵列的制备方法中使用的微电极制作模板的侧面结构示意图。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。