[实用新型]一种快速冷却蚀刻液回收处理设备的冷却装置

权利要求书

1.一种快速冷却蚀刻液回收处理设备的冷却装置，其特征在于：它包括层叠盘旋的冷却管（1），冷却管（1）的底部端口向内折出形成进水管（2），冷却管（1）的顶部端口往外折出形成出水管（3），所述的冷却管（1）的内侧壁为波纹型，所述的出水管（3）和进水管（2）上均连接有一密封函座（4），密封函座（4）内沿轴向依次安装压紧管座（5）和压紧螺母（6），密封函座（4）内开设有内螺纹，压紧螺母（6）上开设有与密封函座（4）内螺纹相配合的外螺纹，压紧管座（5）外侧壁上开设有多个凹槽（7），凹槽（7）内放置有密封圈（8）。

2.根据权利要求1所述的一种快速冷却蚀刻液回收处理设备的冷却装置，其特征在于：所述的密封圈（8）为O形密封圈。

3.根据权利要求1所述的一种快速冷却蚀刻液回收处理设备的冷却装置，其特征在于：所述的压紧螺母（6）一端设置有外六角头。

4.根据权利要求1所述的一种快速冷却蚀刻液回收处理设备的冷却装置，其特征在于：所述的凹槽（7）为两个，且并排的开设在压紧管座（5）外侧壁上。

5.根据权利要求1所述的一种快速冷却蚀刻液回收处理设备的冷却装置，其特征在于：所述相邻圈的冷却管（1）之间具有间隙，间隙的垂直高度为5mm。

6.根据权利要求1所述的一种快速冷却蚀刻液回收处理设备的冷却装置，其特征在于：所述的每一圈冷却管（1）的直径相同。