[实用新型]一种转角晶体测试仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及X射线转角晶体测试仪，特别是涉及应用X射线衍射原理，对单晶硅、蓝宝石等不同规格晶体材料的一种转角晶体测试仪。

背景技术

生长出来的各种直径单晶晶锭在加工成晶棒、晶片前，需要单晶晶体角度精确，测定方式为对照标准片的标准角度与加工的晶体材料的晶体测试角度进行对比，找出晶体的转角。传统的转角晶体测试仪，其测角仪的样品测量精度低、工件承载能力不足、测量范围小，局限了单晶晶锭材料的应用规格，无法满足各种规格单晶晶锭材料转角晶体测试。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，提供一种能够对不同规格单晶晶锭材料转角晶体测试，减少因转角晶体测试设备产生的测量误差，有效的提高被测晶体的转角测量精度，测量简便的转角晶体测试仪。

采用的技术方案是：

一种转角晶体测试仪，包括工作台板，设在工作台板上的X射线发生器、样品台、X射线接收器、测角仪。所述的测角仪包括测试仪壳体、主轴、主轴套筒、蜗轮轴、蜗杆组件、编码器、刻度盘、主轴指针、主轴转盘、转角指针及手轮。蜗轮轴两端由固装在测试仪壳体上左轴承座、右轴承座支撑定位，蜗轮轴左端联接有编码器，右端安装有手轮，蜗轮轴与主轴固装一体的蜗杆组件组成蜗轮蜗杆传动组。主轴套筒固装在测试仪壳体上，主轴套筒内置主轴，所述主轴套筒安装的上下两个主轴轴承将主轴精确定位，转动手轮，蜗轮轴带动蜗杆组件转动，蜗杆组件带动主轴转动。主轴指针装在主轴顶盖上，刻度盘套接在主轴套筒上端，位于主轴指针下方，刻度盘上旋设有刻度盘锁紧螺钉，主轴转盘装在主轴套筒上部阶梯的轴肩处，转角指针通过螺钉固定在主轴转盘上与刻度盘相对应。所述X射线发生器设置在工作台板一侧，样品台加装在测角仪的主轴顶部，X射线接收器面对X射线发生器上的光闸并通过连接部件与主轴转盘连接。

上述的转角晶体测试仪装设有数显装置，蜗轮轴编码器输出信号由控制系统进行数据处理后，可在显示器显示。

上述的工作台板装设有高度可调的工作台板支脚。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1、结构简单、使用方便、晶体的转角读取方便、测试精度高等优点，解决了单晶晶体角度测试的难题。

2、编码器与蜗轮轴直联，消除了其它传动系统传动角度间隙误差。

3、本仪器电气控制装置为设定X光管电流大小，通过微安表确定晶体峰值精度，角度仪编码器和回转工作台联接的编码器与显示器直接联线，提高了晶体角度测试精度。

附图说明

图1是本实用新型的测角仪主视图。

图2是本实用新型的测角仪右视图。

图3是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

一种转角晶体测试仪，包括工作台板1，设在工作台板上的X射线发生器18、样品台22、X射线接收器21、测角仪23。所述的测角仪23包括测试仪壳体16、主轴9、主轴套筒6、蜗轮轴2、蜗杆组件3、编码器11、刻度盘5、主轴指针7、主轴转盘13、转角指针14及手轮17。蜗轮轴2两端由固装在测试仪壳体16上左轴承座12、右轴承座15支撑定位，蜗轮轴2左端联接有编码器11，右端安装有手轮17，蜗轮轴2与主轴9固装一体的蜗杆组件3组成蜗轮蜗杆传动组。主轴套筒6固装在测试仪壳体16上，主轴套筒6内置主轴9，所述主轴套筒6安装的上下两个主轴轴承4将主轴9精确定位，转动手轮，蜗轮轴带动蜗杆组件转动，蜗杆组件带动主轴转动。主轴指针7装在主轴顶盖上，刻度盘5套接在主轴套筒6上端，位于主轴指针下方，刻度盘5上旋设有刻度盘锁紧螺钉8，主轴转盘13装在主轴套筒6上部阶梯的轴肩处，转角指针14通过螺钉固定在主轴转盘13上与刻度盘5相对应。所述X射线发生器18设置在工作台板1一侧，样品台20加装在测角仪23的主轴9顶部，X射线接收器21面对X射线发生器18上的光闸19并通过连接部件22与主轴转盘13连接。所述工作台板1装设有高度可调的工作台板支脚10，高度可调整到工作台板成水平位置。转角晶体测试仪装设有数显装置，蜗轮轴编码器输出信号由控制系统进行数据处理后，可在显示器显示。

工作原理

转动手轮主轴套筒安装的上下两个主轴轴承将主轴精确定位，蜗轮轴带动蜗杆组件转动，主轴随之转动，主轴转动角度可由蜗轮轴左端的编码器传递到控制系统进行数据处理后，可在显示器显示主轴转角角度。转角晶体测量时先放置标准片在样品台上，旋转手轮，调整样品台到连接部分及停止，刻度盘调整至主轴指针0位置将刻度盘锁紧螺钉锁紧，同时与主轴转盘、连接部分、X射线接收器一同转动的转角指针指向2γ位置；取下标准片放置转角晶体测试工件在样品台上，可通过主轴指针在刻度盘读取X射线接收器接收的X射线最强位置时主轴的旋转角度，读取的测量角度值就是晶体的转角。