[实用新型]一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道有效
| 申请号： | 201520385238.0 | 申请日： | 2015-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN204752905U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 娄中士;王林;李亚哲;郑海峰;张颂越;孙毅 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李莉华 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 直拉硅单晶炉 排气 系统 管道 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道，其特征在于：包括炉内缩放管和炉外缩放管，所述炉内缩放管包括依次连接的气体进入段、收缩段和气体排出段，所述气体进入段为呈喇叭状的扩口，所述收缩段和所述气体排出段均为直通管，且所述收缩段的直通管管径小于所述气体排出段的直通管管径，所述炉外缩放管与所述气体排出段相连，所述炉外缩放管为管体外径等径的通管，所述炉外缩放管的管体内壁面设有数个凸缘和凹缘，各凸缘和凹缘交替连接而形成波浪状起伏。
2.根据权利要求1所述的一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道，其特征在于：所述收缩段的一端与所述扩口的收缩口圆弧过渡连接，所述收缩段的另一端与所述气体排出段圆弧过渡连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道，其特征在于：所述扩口的开放口外壁上连接环形塞。
4.根据权利要求1所述的一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道，其特征在于：所述炉外缩放管的管体外壁上设有保温碳毡。
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