[实用新型]一种制备硅单晶用石墨加热器

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产技术领域，具体涉及一种制备单晶硅用石墨加热器。

背景技术

目前单晶硅生产用石墨加热器主体主要包括：圆柱形石墨加热器(发热体)、电极支脚及把电极支脚固定在发热体上的小螺钉三部分组成，同时在固定加热器支脚时，需在支脚和加热器之间增加一层石墨纸。由于电极支脚与加热器(发热体)是分开的两个配件，且需用石墨小螺钉紧固，紧固过程是由人来操作，存在紧固力度不一致，松紧不一的现象。现有技术中将电极支脚做为可拆卸结构，因为电极支脚在电极之上，可能导致电极损坏，因此可更换电极支脚，然而生产中发现，电极支脚损坏的次数很少，反而由于石墨小螺钉离保温筒比较近，在加热过程中容易引起打火、短路现象，进而造成功率无法开启，从而引发焖炉事故，造成更大的经济损失。

发明内容

本实用新型的目的就在于为解决现有技术的不足而提供一种制备硅单晶用石墨加热器。

本实用新型的目的是以下述技术方案实现的:

一种制备硅单晶用石墨加热器，包括石墨加热器本体及本体下方的电极支脚，所述加热器本体与电极支脚为一体式结构。

所述电极支脚为2个或4个。

所述电极支脚上设通孔。

所述电极支脚上设加强脚。

本实用新型提供的制备单晶硅用石墨加热器，具有以下优点：1、加热器主体由原来的三个部件组合组成改为一个部件一体式结构，结构简单；2、将石墨小螺钉部件和石墨纸去除，降低了生产成本；3、安装过程简单方便，节省了工作时间，提高工作效率；4、降低原分体加热器在组装过程中存在的安全隐患，降低安全事故的发生率，避免了因小螺钉引起的打火事故，减少了经济损失。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是左侧电极支脚的底部示意图。

具体实施方式

本实用新型提供的制备单晶硅用石墨加热器，如图1及图2所示，包括石墨加热器本体1及本体下方的电极支脚2，所述加热器本体1与电极支脚2加工为一体式结构。电极支脚2优选为2个或4个，电极支脚上设通孔3，电极支脚2上设加强脚4，使加热器放置更为稳固，同时增大了与电极的接触面积。本实用新型去除掉采用小螺钉加固支脚的方式，将电极支脚与加热器(发热体)做成一体结构，既不占用石墨加热器的空腔，又能够很好的将加热器固定放置，同时又避免了因小螺钉打火造成的焖炉事故。