[实用新型]CO2激光器的非平面镜调节装置有效
申请号: | 201520369409.0 | 申请日: | 2015-06-01 |
公开(公告)号: | CN204706760U | 公开(公告)日: | 2015-10-14 |
发明(设计)人: | 王占锋;刘昌军;周桂兵;陈根余;陈燚;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
主分类号: | H01S3/034 | 分类号: | H01S3/034;G02B7/00 |
代理公司: | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人: | 陈琳 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | co2 激光器 平面镜 调节 装置 | ||
技术领域
本实用新型属于CO2激光器制造领域,尤其涉及一种CO2激光器的非平面镜调节装置。
背景技术
高功率轴快流CO2激光器诞生以来,以转换效率高,输出模式好,性能稳定,较横流CO2激光器体积小等优势在工业生产中得到广泛应用,随着应用范围的逐步扩展,对输出功率的要求也在不断的提升,从最初的1KW轴快流激光器到目前的5KW、8KW、10KW、甚至更高的激光器都有需求。
对于CO2激光器来说,影响激光器功率模式稳定性的一个重要方面就是谐振腔上镜片的调节结构的稳定性。镜片调节结构的不稳定会直接导致激光器模式变化,功率变化,指向变化,甚至无法使用。
如图1所示,普通前尾镜调节装置,虽然调节精度较高,但不稳定因素太多。首先球面垫10和调节架锥面孔20采用的轴线外定位,使镜片中心不能很好地固定在轴线上;而调节螺纹副30、40、50之间采用螺牙差的形式提高精度,但是单个调节点就有6副螺纹要加工,累积误差会制成其定位精度不高,这就使得两个调节点之间以及其对定位点之间产生应力,致使镜片中心不能定位到光轴轴线上。如果是平面镜,其影响不大;但是CO2激光器一般都采用稳定腔,凹面镜就必不可少,这样一来,在装配过程中有可能发现调节螺纹组摇摆,装配不到位,或装到位后调节螺纹间有应力,螺纹松紧不一致等情况;在调试过程中会发现两组调节螺纹之间相互影响,难以调出理想模式,即使调出来,由于其内在的应力,经过老化,开关机测试后,模式也会发生变化,再加上运输震动,模式的变化更大。
实用新型内容
本实用新型实施例的目的在于提供一种CO2激光器的非平面镜调节装置,以解决现有镜片调节结构不稳定而导致激光器模式变化的问题。
本实用新型实施例是这样实现的,一种CO2激光器的非平面镜调节装置,包括:
调节架和调节座,所述调节架上设有向外凸出的、且带有第一通孔的凸出部,所述凸出部的外表面呈锥面形状,所述第一通孔贯穿整个调节架;所述调节座上设有第二通孔,所述第二通孔的内表面呈锥面形状,且与所述凸出部的外表面的锥面形状相适配;
其中,所述调节架上还设有与所述第一通孔同轴的镜片座,所述基片座内安装有镜片,所述镜片上、下表面的中心与光轴重合。
进一步地,所述凸出部的外表面呈为球面,所述调节架和所述调节座以球面的方式相互接触,所述第二通孔的内表面呈球面形状,与所述凸出部的外表面的球面形相适配。
进一步地,所述凸出部的外表形成的球面的球面中心与所述镜片靠近所述凸出部的一侧表面的中心重合。
进一步地,所述调节架上还设有调节通孔,所述调节通孔内设置有调节螺杆,所述调节螺杆位于所述球面调节架的两端分别采用一个螺母固定调节。
进一步地,所述调节螺杆的直径小于所述调节通孔的直径。
进一步地,所述镜片座与所述调节架之间设有用于固定所述镜片座的镜座。
进一步地,所述凸出部与所述调节座之间、所述镜座与所述球面调节架之间、所述镜座与是镜片座之间、以及所述镜片与所述镜片座之间设有密封装置。
进一步地,所述镜片远离所述凸出部的一侧表面的边缘与所述镜片座之间设有铝垫。
本实用新型实施例提供一种CO2激光器的非平面镜调节装置,通过锥面的结合,利用轴线内定位的方式,保证了所述镜片上、下表面的中心与光轴重合,当镜片绕光轴旋转调节时,二者的中心一直保持重合,不会偏离,大大的提高了激光器的模式的稳定性。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是现有技术中镜片调节装置的立体图;
图2是本实用新型实施例提供的CO2激光器的非平面镜调节装置的立体图;
图3是本实用新型实施例提供的CO2激光器的非平面镜调节装置的剖视图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
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