[实用新型]一种对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪

权利要求书

1.一种对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、固定平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜和分光镜组，所述激光源射出的激光束经所述分光镜组后分为第一激光束和第二激光束，所述第一激光束射向所述固定平面反射镜，经所述固定平面反射镜反射后再次射向所述分光镜组，再经分光镜组后射向所述干涉测量光电探测器，所述第二激光束射向所述移动平面反射镜，经所述移动平面反射镜反射后再次射向所述分光镜组，经分光镜组后射向所述干涉测量光电探测器，所述第一激光束与第二激光束在射向所述干涉测量光电探测器时发生干涉，其特征在于，所述对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪还包括有反射测量光电探测器，所述第二激光束在由所述移动平面反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。

2.如权利要求1所述的对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪，其特征在于，所述分光镜组包括有第一分光镜和第二分光镜，所述激光源射出的激光束先射到第一分光镜，经第一分光镜反射形成第一激光束，经第一分光镜透射形成第二激光束，第一激光束射向所述固定平面反射镜，经反射后再次射向所述第一分光镜，然后再透射过所述第一分光镜，所述第二激光束射向所述第二分光镜，经所述第二分光镜透射后射向所述移动平面反射镜，经所述移动平面反射镜反射后再射向所述第二分光镜，经所述第二分光镜透射后射向所述第一分光镜，并且与从所述第一分光镜透射出的第一激光束发生干涉，形成干涉光束后射向所述干涉测量光电探测器，由所述移动平面反射镜射向所述第二分光镜的所述第二激光束还被所述第二分光镜反射形成所述反射激光束。