[实用新型]基于宽谱光源干涉原理的样品位移测量系统

权利要求书

1.一种基于宽谱光源干涉原理的样品位移测量系统，其特征在于，包括：用于发出相干光的光源、用于将该相干光分束为第一、第二光信号的光纤耦合器、用于根据分束后的第一光信号返回参考光的参考臂、用于根据分束后的第一光信号返回干涉光的样品臂、以及用于对该参考光与干涉光所形成的干涉信号进行解调得到光谱信息的光谱解调器，其中，所述参考臂与样品臂共路形成一光干涉通路。

2.如权利要求1所述的样品位移测量系统，其特征在于，所述光干涉通路与样品之间的距离小于1mm。

3.如权利要求1或2任一所述的样品位移测量系统，其特征在于，所述光干涉通路包括一第一透镜及一分光镜，其中，该第一透镜将所述光信号输入至该分光镜分光后，所述光信号的一部分经该分光镜直接反射返回形成所述参考光，所述光信号的另一部分经该分光镜透射至样品后返回形成所述干涉光。

4.如权利要求3所述的样品位移测量系统，其特征在于，所述分光镜与样品之间的距离为0.8mm。

5.如权利要求3所述的样品位移测量系统，其特征在于，所述分光镜的厚度为2mm–5mm。

6.如权利要求3所述的样品位移测量系统，其特征在于，所述分光镜透射与反射的比例无限制。

7.如权利要求3所述的样品位移测量系统，其特征在于，所述光源为宽谱光源，该宽谱光源的中心波长为810nm–850nm。

8.如权利要求7所述的样品位移测量系统，其特征在于，所述宽谱光源的中心波长为830nm。

9.如权利要求3所述的样品位移测量系统，其特征在于，所述光谱解调器包括依次设置的第二透镜、光栅、第三透镜及电子耦合组件，其中，所述干涉信号由该第二透镜输入，所述光谱信息由该电子耦合组件输出。

10.如权利要求3所述的样品位移测量系统，其特征在于，还包括：与所述光谱解调器相连的计算机，用于对所述光谱解调器输出的光谱信息进行数据处理。