[实用新型]一种半导体激光器的快慢轴光束质量匀化装置

权利要求书

1.一种半导体激光器的快慢轴光束质量匀化装置，其特征是：包括有半导体激光器芯片、快轴准直透镜、直角棱镜组、柱面透镜组和两片式柱面缩束镜；所述半导体激光器芯片发射的激光束依次穿过快轴准直透镜、直角棱镜组、柱面透镜组和两片式柱面缩束镜后输出。

2.根据权利要求1所述的一种半导体激光器的快慢轴光束质量匀化装置，其特征是：所述直角棱镜组包括有直角棱镜A、直角棱镜B和直角棱镜C，激光束穿过快轴准直透镜后射入直角棱镜A，然后依次经过直角棱镜A的斜面、直角棱镜B斜面和直角棱镜C的斜面反射后射入柱面透镜组。

3.根据权利要求2所述的一种半导体激光器的快慢轴光束质量匀化装置，其特征是：所述直角棱镜A、直角棱镜B和直角棱镜C的截面形状均为等腰直角三角形。

4.根据权利要求2所述的一种半导体激光器的快慢轴光束质量匀化装置，其特征是：所述直角棱镜A的直角边长度等于快轴准直后各发光点Y轴方向光斑宽度，其误差不超过±2μm；直角棱镜A的高度等于半导体激光器芯片上各发光点之间的距离，其误差不超过±5μm。

5.根据权利要求2所述的一种半导体激光器的快慢轴光束质量匀化装置，其特征是：所述直角棱镜B和C的直角边长度等于半导体激光器芯片上各发光点之间距离的一半，其误差不超过±10μm；45°直角棱镜B和C的高度应等于快轴准直后各发光点Y轴方向光斑宽度，其误差不超过±2μm。

6.根据权利要求2所述的一种半导体激光器的快慢轴光束质量匀化装置，其特征是：所述直角棱镜A、B和C通过UV胶水固定；直角棱镜A和B重合面的误差在X方向小于100μm，在Z方向小于100μm；直角棱镜A和C重合面的误差在X方向小于100μm，在Z方向小于100μm。

7.根据权利要求1所述的一种半导体激光器的快慢轴光束质量匀化装置，其特征是：所述半导体激光器的每个发光点对应一组直角棱镜组；所述直角棱镜组入射面与半导体激光器的出光面平行，平行度误差小于±1mrad；所述半导体激光器每个的发光点到各自对应的直角棱镜组的入射面在出光方向的距离相等，应保证各发光点的距离误差小于±5μm。

8.根据权利要求1所述的一种半导体激光器的快慢轴光束质量匀化装置，其特征是：所述半导体激光器的发光区位于柱面透镜的背焦距处，其误差小于±50μm。

9.根据权利要求1所述的一种半导体激光器的快慢轴光束质量匀化装置，其特征是：所述两片式柱面缩束镜包括有平凸柱面镜和平凹柱面镜，平凸柱面镜和平凹柱面镜的焦距比值等于光斑X方向和Y方向的长度比值。

10.根据权利要求1所述的一种半导体激光器的快慢轴光束质量匀化装置，其特征是：平凹柱面镜的物方焦点和平凸柱面镜的像方焦点重合，其误差小于±50μm。