[实用新型]波纹管夹具、波纹管组件及波纹管清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种波纹管夹具、波纹管组件以及波纹管清洗装置。

背景技术

在半导体制程中，许多设备都要求真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、电感耦合等离子体刻蚀以及等离子体增强化学气相沉积等，一方面在真空环境下洁净度高，水蒸气很少，可保证产品不易被污染，另一方面一些设备会用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，在真空环境下这些特殊气体不易外泄，从而保证制程的安全性。

在这些设备中，真空环境的形成通常是利用真空泵对真空室进行抽气而获得，且在使用过程中真空室需要一直维持在真空状态，而为了维持真空状态，波纹管是必不可少的密封件。因波纹管可形变，通常配合密封圈使用，安装在真空泵与真空管路等的衔接密封处、设备的运动密封处以及阀门内部等。

在进行真空镀膜制程时，由于波纹管内部与真空室连通且均维持在真空状态，因此真空室中反应产生的沉积物会附着在波纹管内壁上，并且在波纹管伸张以及压缩运动过程中，波纹管内壁上的沉积物会随内部压力变化扬起产生污染物问题，因此，定期清洗波纹管是半导体制程中必不可少的步骤。

目前，波纹管的清洗是直接将波纹管放置在振荡清洗槽中进行清洗，但是，在清洗过程中，波纹管一般处于自由压缩状态，导致其内壁上的沉积物难以有效接触到清洗液，因而无法被有效去除，进而导致后续生产过程中晶圆产生缺陷，降低了产品良率。

实用新型内容

实用新型的目的在于提供一种波纹管夹具、波纹管组件以及波纹管清洗装置，以使波纹管处于伸张状态而进行浸泡清洗，从而确保波纹管内壁上的沉积物可以被有效去除，提高清洗效果。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种波纹管夹具，所述波纹管包括波纹管本体和固定设置在所述波纹管两端的法兰结构，所述波纹管夹具包括调节轴、上框架和下框架，所述调节轴用于套设所述波纹管，并且所述调节轴还用于连接所述上框架和所述下框架，所述上框架上对称设置有多个与所述波纹管本体一端的法兰结构外周相配合的上卡勾，所述下框架上对称设置有多个与所述波纹管本体另一端的法兰结构外周相配合的下卡勾。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述下框架的结构与所述上框架的结构相同，并且，所述下卡勾的结构与所述上卡勾的结构相同。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述上框架包括连接部和多个均匀分布在所述连接部周围的延伸部，每个延伸部的一端固定在所述连接部上，所述连接部的中央部位设置有螺纹通孔，所述上框架通过所述螺纹通孔套设于所述调节轴上并与所述调节轴螺纹连接，每个延伸部上设置有一个上卡勾，所述下框架的每个延伸部上设置有一个下卡勾。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述下框架还包括一轴承，所述下框架的连接部的中央部位设置有通孔，所述轴承设置在所述通孔中，所述下框架通过所述轴承套设于所述调节轴上并与所述调节轴通过所述轴承固定连接。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述上卡勾活动设置在所述上框架的延伸部上，并且，所述下卡勾活动设置在所述下框架的延伸部上。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述上框架还包括杆件和固定端子，所述固定端子固定设置在每个延伸部的外周端面上，所述杆件穿过所述固定端子至接触所述上卡勾并固定。

可选的，在所述的波纹管夹具中，每个延伸部为一凹字形结构，与所述凹字形结构的缺口相对的一端固定在所述连接部上。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述固定端子为一T字形结构，所述T字形结构与所述凹字形结构的缺口相配合并固定在所述凹字形结构的缺口端面上。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述上框架的延伸部的数量为三个，所述上框架的连接部和所述上框架的三个延伸部形成Y字形框架结构，并且，相邻两个延伸部之间的夹角为120°。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述上框架的延伸部的数量为四个，所述上框架的连接部和所述上框架的四个延伸部形成十字形框架结构。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述杆件为一螺纹杆。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述上卡勾包括轴向部分和与所述轴向部分固定连接的径向部分，所述轴向部分活动设置在所述上框架上，所述下卡勾的结构与所述上卡勾的结构相同，所述下卡勾的轴向部分活动设置在所述下框架上。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述轴向部分沿厚度方向上的两个侧面均设置有直线型凹槽，所述上框架和所述下框架的沿径向方向上均设置有与所述直线型凹槽相配合的导轨。