[实用新型]洁净式真空系统有效
申请号: | 201520331428.4 | 申请日: | 2015-05-21 |
公开(公告)号: | CN204805061U | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 何文财 | 申请(专利权)人: | 东莞市雅之雷德机电科技有限公司 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14;F04B39/16 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 肖冬 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 洁净 真空 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及真空泵技术领域,尤其涉及洁净式真空系统。
背景技术
随着工业的发展,人们对生产的洁净度要求越来越高,特别是半导体器件生产,化工药物等;纯净度要求非常高,因此需要对加工空间进行抽真空处理。目前的抽真空方式为:直接用真空泵进行抽真空并对外排气,然而直接对外排气会造成污染,污染环境,其次真空泵在抽真空时,粉尘等颗粒物质容易进入,造成对真空泵的损伤。
实用新型内容
本实用新型的目的在于解决现有技术的不足,提供一种洁净式真空系统,该真空系统可以避开污染,达到洁净式的抽真空;同时起到保护真空泵的效果。
为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案为:
一种洁净式真空系统,包括机械真空泵和管道,所述机械真空泵的进气口通过管道连接有进气过滤器,机械真空泵的出气口通过管道连接有排气过滤器。
进一步地,所述进气过滤器包括一个壳体,壳体内设置有至少一层过滤芯体,所述过滤芯体的两侧设有海绵层。
进一步地,所述进气过滤器包括一个壳体,壳体内设有两块极板和直流电源,两块极板分别与直流电源的两极电连接。
进一步地,所述排气过滤器包括一个用于盛装有机液体的容器,容器的底部设有用于进气管道,进气管道安装有单向阀,所述容器的上端设有出气管道,出气管道也设有单向阀。
进一步地,所述排气过滤器通过管道连接有储气罐。
进一步地,所述储气罐连接有真空压力表,储气罐与排气过滤器之间设有单向阀。
进一步地,所述洁净式真空系统还包括一个控制箱,控制箱分别与真空压力表、机械真空泵信号连接。
进一步地,所述储气罐连接有排气管道。
本实用新型取得的有益效果为:本实用新型通过设置进气过滤器和排气过滤器,使得机械真空泵抽气时,避免灰尘进入保护真空泵;其次,排气时,避免润滑油气化直排入空气,污染环境。
附图说明
图1是本实施例1的一种结构示意图。
图2是进气过滤器的一种剖视结构示意图。
图3是排气过滤器的一种剖视结构示意图。
附图标记为:
1——排气管道2——储气罐3——管道
4——机械真空泵5——控制箱6——进气过滤器
7——排气过滤器61——海绵层62——壳体
63——过滤芯体71——容器72——进气管道
73——单向阀74——出气管道。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步地说明书。
实施例:参见图1、图2、图3。
一种洁净式真空系统,包括机械真空泵4和管道,所述机械真空泵4的进气口通过管道连接有进气过滤器6,机械真空泵4的出气口通过管道连接有排气过滤器7。
目前,机械真空泵4在抽真空时,会将空气中的粉尘及其固体颗粒吸入到机械真空泵4内,粉尘进入机械真空泵4后,会附着到机械真空泵4的内腔,影响到机械真空泵4的密封性,尤其是旋片式真空泵;在进气口设置进气过滤器6后,可以将粉尘等颗粒物质过滤,起到保护真空泵的作用。其次,机械真空泵4在工作时,内部的润滑油容易发生气化,然后排出体外,润滑油对环境有污染,在出气口连接排气过滤器7,可以起到净化的作用,防止污染,达到洁净式抽真空的效果。
进一步地,所述进气过滤器6包括一个壳体62,壳体62内设置有至少一层过滤芯体63,所述过滤芯体63的两侧设有海绵层61。
进气过滤器6可以采用孔径过滤的方式,将粉尘过滤掉。过滤时,只要采用过滤芯体63,并以海绵作为辅助。过滤芯体63可以采用炭包之类等。
进一步地,作为等同变化,所述进气过滤器6包括一个壳体,壳体内设有两块极板和直流电源,两块极板分别与直流电源的两极电连接。
进气过滤器6采用电离吸附的方式,气体流经壳体的两块极板之间的空间,气体被电离,粉尘带上电荷,因此,吸附到极板上。
进一步地,所述排气过滤器包括一个用于盛装有机液体的容器71,容器71的底部设有用于进气管道72,进气管道72安装有单向阀73,所述容器71的上端设有出气管道74,出气管道74也设有单向阀73。
由于排气过滤器主要用于去除气体内的润滑油气体,因此,设置有盛装机液体的容器71进行过滤;吸收润滑油。有机液体可以为酒精、醋酸等。
进一步地,所述排气过滤器7通过管道3连接有储气罐2。
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