[实用新型]一种微型化陶瓷管壳光电探测器封装结构有效
申请号: | 201520293363.9 | 申请日: | 2015-05-08 |
公开(公告)号: | CN204614790U | 公开(公告)日: | 2015-09-02 |
发明(设计)人: | 王康林;唐政维;刘建文;周俊 | 申请(专利权)人: | 重庆鹰谷光电有限公司 |
主分类号: | H01L31/0203 | 分类号: | H01L31/0203;H01L31/02 |
代理公司: | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人: | 侯懋琪 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微型 陶瓷 管壳 光电 探测器 封装 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及光电探测器封装技术领域,特别涉及一种微型化陶瓷管壳光电探测器封装结构。
背景技术
目前,国内外应用在军用、航天等领域的光电探测器芯片封装普遍采用TO系列金属管壳封装结构。请参考图1,现有的光电探测器封装结构包括金属材料制成的管座15与管帽16、探测器芯片2、光窗玻璃3、陶瓷基板17、绝缘子18及引线19,其中,探测器芯片2与陶瓷基板17之间采用有机导电银浆粘接,陶瓷基板17与管座15之间采用AB胶粘接,光窗玻璃3与管帽16之间通过高频熔封工艺实现封接,管座15与引线19之间通过烧玻璃或陶瓷材料制成的绝缘子18实现密封,管帽16与管座15之间的密封则根据管座15与管帽16的尺寸大小,通过储能焊或激光焊的方式来实现。结合实际使用的情况来看,现有技术存在的主要问题是:1)该光电探测器封装结构的密封性能不够理想,主要表现为在产品使用过程中,管帽16与管座15之间、管座15与引线19之间、光窗玻璃3与管帽16之间较容易发生漏气,从而影响产品的性能和可靠性;2)由于管座15与管帽16均采用金属材料制成,使得产品的体积及重量较大;3)采用管帽16包覆并熔封于光窗玻璃3之上,以及探测器芯片2置于陶瓷基板17之上、陶瓷基板17又置于管座15之上的设计,导致产品的高度较大,结构较为复杂、不够紧凑;4)相对而言生产工艺较为复杂,从而使得生产成本较高,且不易实现批量化生产。
实用新型内容
针对背景技术中存在的上述问题,本实用新型的目的是提供一种微型化陶瓷管壳光电探测器封装结构,能够在实现良好密封性能的同时,减小产品的体积,降低生产成本,以及进一步提高生产的效率。
本实用新型的技术方案如下:包括管壳1、探测器芯片2及光窗玻璃3;管壳1为一体结构,包括一体成型的基板1a和位于基板1a四周边缘的凸起部1b,覆于基板1a上端面的彼此分离的第一电极焊盘8、第二电极焊盘9与第三电极焊盘10,以及贯穿基板1a且分别设于第一电极焊盘8、第二电极焊盘9与第三电极焊盘10下端的金属化过孔,第一电极焊盘8、第二电极焊盘9与第三电极焊盘10分别通过金属化过孔与外部电路相连接,基板1a和凸起部1b均采用高温共烧陶瓷材料;探测器芯片2设于第二电极焊盘9之上,探测器芯片2的下端面和第二电极焊盘9的外表面均覆盖有与预成型焊料片5相匹配的金属层,探测器芯片2的下端面通过设于其下的预成型焊料片5共晶焊接在第二电极焊盘9的外表面,第一电极焊盘8、第三电极焊盘10分别通过金丝与探测器芯片2上端两侧的电极键合连接;光窗玻璃3设于凸起部1b之上,凸起部1b的上端面7和光窗玻璃3的下端面均覆盖有与预成型焊料环6相匹配的金属层,光窗玻璃3的下端面通过设于其下的预成型焊料环6共晶焊接在凸起部1b的上端面7,并形成密封空腔14。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的